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1. 发明专利

TW201346456A 包含一致動器之微影裝置及用於保護此致動器之方法审中-公开
简体标题：包含一致动器之微影设备及用于保护此致动器之方法
公开(公告)号：TW201346456A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102114666
申请日：2013-04-24
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：凱迪李歐朵魯斯佩特魯斯瑪麗亞 , CADEE, THEODORUS PETRUS MARIA , 布羅爾斯桑迪爾克里斯丁安 , BROERS, SANDER CHRISTIAAN , 侯史文安東尹喬漢 , HOL, SVEN ANTOIN JOHAN , 黃仰山 , HUANG, YANG SHAN , 德葛路特安東尼司法蘭西斯科司喬漢尼司 , DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES , 范戴凡巴帝安蘭博特威廉瑪瑪里納 , VAN DE VEN, BASTIAAN LAMBERTUS WILHELMUS MARINUS
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70766 , G03F7/70533 , G03F7/70758 , G03F7/709
摘要：一種微影裝置，其包含一系統。該系統包含一第一部件、一第二部件及一能量吸收元件。該第二部件經組態以相對於該第一部件移動。該系統具有在該系統之一操作模式期間位於該第一部件與該第二部件之間的一間隙。該能量吸收元件用於當該第一部件及該第二部件在該系統之一失效模式中碰撞至彼此上時吸收該第一部件與該第二部件之間的能量。該能量吸收元件係在該間隙外部。
简体摘要：一种微影设备，其包含一系统。该系统包含一第一部件、一第二部件及一能量吸收组件。该第二部件经组态以相对于该第一部件移动。该系统具有在该系统之一操作模式期间位于该第一部件与该第二部件之间的一间隙。该能量吸收组件用于当该第一部件及该第二部件在该系统之一失效模式中碰撞至彼此上时吸收该第一部件与该第二部件之间的能量。该能量吸收组件系在该间隙外部。

2. 发明专利

TWI477923B 微影裝置及微影投影方法有权
简体标题：微影设备及微影投影方法
公开(公告)号：TWI477923B
公开(公告)日：2015-03-21
申请号：TW101104578
申请日：2012-02-13
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：畢瑞恩斯洛德安東尼斯凱薩琳娜瑪利亞 , BEERENS, RUUD ANTONIUS CATHARINA MARIA , 德葛路特安東尼司法蘭西斯科司喬漢尼司 , DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70691

3. 发明专利

TW201207572A 位置感測器及微影裝置 POSITION SENSOR AND LITHOGRAPHIC APPARATUS 审中-公开
简体标题：位置传感器及微影设备 POSITION SENSOR AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
公开(公告)号：TW201207572A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW100118720
申请日：2011-05-27
申请人： ASML荷蘭公司
发明人：畢瑞恩斯洛德安東尼斯凱薩琳娜瑪利亞 , 德葛路特安東尼司法蘭西斯科司喬漢尼司 , 費爾莫默朗約翰內斯佩特魯斯馬丁努斯伯納德斯
IPC分类号： G03F
CPC分类号： G03F7/70775 , G03F7/70783 , G03F9/70 , G03F9/7049 , G03F9/7088
摘要：本發明揭示一種位置感測器,該位置感測器經組態以量測一目標之一位置資料。該位置感測器包括:一輻射源,該輻射源經組態以輻照一輻射光束;一第一光柵,該第一光柵經組態以將在一第一繞射方向上之該輻射光束繞射成至少一第一階繞射光束;及一第二光柵,該第二光柵係配置於該第一階繞射光束之一光學路徑中,該第二光柵經組態以在實質上垂直於該第一繞射方向之一第二繞射方向上繞射在該第一光柵處繞射之該第一階繞射光束。該第二光柵係連接至該目標。一第一偵測器經組態以偵測藉由該第一光柵繞射的該光束之至少一部分,且至少一第二偵測器經組態以偵測藉由該第一光柵及該第二光柵繞射的該光束之至少一部分。
简体摘要：本发明揭示一种位置传感器,该位置传感器经组态以量测一目标之一位置数据。该位置传感器包括:一辐射源,该辐射源经组态以辐照一辐射光束;一第一光栅,该第一光栅经组态以将在一第一绕射方向上之该辐射光束绕射成至少一第一阶绕射光束;及一第二光栅,该第二光栅系配置于该第一阶绕射光束之一光学路径中,该第二光栅经组态以在实质上垂直于该第一绕射方向之一第二绕射方向上绕射在该第一光栅处绕射之该第一阶绕射光束。该第二光栅系连接至该目标。一第一侦测器经组态以侦测借由该第一光栅绕射的该光束之至少一部分,且至少一第二侦测器经组态以侦测借由该第一光栅及该第二光栅绕射的该光束之至少一部分。

5. 发明专利

TW201405253A 支撐裝置、微影裝置及器件製造方法审中-公开
简体标题：支撑设备、微影设备及器件制造方法
公开(公告)号：TW201405253A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102118695
申请日：2013-05-27
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：克佛耶茲安卓尼斯亨瑞克 , KOEVOETS, ADRIANUS HENDRIK , 當德斯史喬德尼可拉斯藍伯特斯 , DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS , 菲恩曼諾 , FIEN, MENNO , 德葛路特安東尼司法蘭西斯科司喬漢尼司 , DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES , 胡甄丹克莉絲汀娜艾利珊卓 , HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER , 賈庫博喬漢斯亨利哈斯威廉瑪斯 , JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS , 添凱特尼可拉斯 , TEN KATE, NICOLAAS , 豪班馬提恩 , HOUBEN, MARTIJN , 拉法瑞雷孟德威黑墨斯路易斯 , LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS , 威斯特雷肯禎史蒂芬克里斯丁 , WESTERLAKEN, JAN STEVEN CHRISTIAAN , 奧維卡皮金文森 , OVERKAMP, JIM VINCENT , 凡比茲南馬登 , VAN BEIJNUM, MAARTEN , 德瓊羅伯 , DE JONG, ROB
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70716 , G03F7/70341 , G03F7/707 , G03F7/70733
摘要：一種用於一微影裝置之支撐裝置，其具有一物件固持器及一抽取本體，該抽取本體自該物件固持器徑向地向外。該物件固持器經組態以支撐一物件。該抽取本體包括經組態以自該支撐裝置之一頂部表面抽取流體之一抽取開口。該抽取本體係與該物件固持器隔開，使得該抽取本體自該物件固持器實質上解耦。該抽取本體包含一突出物，該突出物經組態成使得其環繞該物件固持器，且使得在使用時，一液體層保留於該突出物上且接觸該物件固持器上支撐之一物件。
简体摘要：一种用于一微影设备之支撑设备，其具有一对象固持器及一抽取本体，该抽取本体自该对象固持器径向地向外。该对象固持器经组态以支撑一对象。该抽取本体包括经组态以自该支撑设备之一顶部表面抽取流体之一抽取开口。该抽取本体系与该对象固持器隔开，使得该抽取本体自该对象固持器实质上解耦。该抽取本体包含一突出物，该突出物经组态成使得其环绕该对象固持器，且使得在使用时，一液体层保留于该突出物上且接触该对象固持器上支撑之一对象。

7. 发明专利

TW201830156A 馬達總成、微影裝置及器件製造方法审中-公开
简体标题：马达总成、微影设备及器件制造方法
公开(公告)号：TW201830156A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：TW106135632
申请日：2017-10-18
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：杜吉森斯皮恩喬瑟夫亨德里克 , DUIJSENS, PIM JOZEF HENDRIK , 德葛路特安東尼司法蘭西斯科司喬漢尼司 , DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES
IPC分类号： G03F7/20 , H02K41/03
摘要：本發明描述一種用於在一驅動方向上驅動一物件之馬達總成，該馬達總成包含： -複數個線性馬達，每一馬達經組態以在該驅動方向上產生一驅動力，該等線性馬達中之每一者包含： ○ 一第一電磁總成及一第二電磁總成，該第二電磁總成經組態以與該第一電磁總成合作以用於產生該驅動力；其中該第一電磁總成與該第二磁性總成面向彼此且界定彼此之間在垂直於該驅動方向之一方向上的一間隙； -一第一介面，其用於將該等第一電磁總成連接至一共同部件； -一第二介面，其用於將該等第二電磁總成連接至待驅動之該物件；其中該等第一電磁總成及該等第二電磁總成在垂直於該驅動方向之該方向上經堆疊，且其中該第一介面及該第二介面中之至少一者經組態以實現該等各別第一電磁總成與該等第二電磁總成之間在垂直於該驅動方向之該方向上的一相對位移。
简体摘要：本发明描述一种用于在一驱动方向上驱动一对象之马达总成，该马达总成包含： -复数个线性马达，每一马达经组态以在该驱动方向上产生一驱动力，该等线性马达中之每一者包含： ○ 一第一电磁总成及一第二电磁总成，该第二电磁总成经组态以与该第一电磁总成合作以用于产生该驱动力；其中该第一电磁总成与该第二磁性总成面向彼此且界定彼此之间在垂直于该驱动方向之一方向上的一间隙； -一第一界面，其用于将该等第一电磁总成连接至一共同部件； -一第二界面，其用于将该等第二电磁总成连接至待驱动之该对象；其中该等第一电磁总成及该等第二电磁总成在垂直于该驱动方向之该方向上经堆栈，且其中该第一界面及该第二界面中之至少一者经组态以实现该等各别第一电磁总成与该等第二电磁总成之间在垂直于该驱动方向之该方向上的一相对位移。

9. 发明专利

TW201627777A 支撐裝置、微影裝置及器件製造方法审中-公开
简体标题：支撑设备、微影设备及器件制造方法
公开(公告)号：TW201627777A
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW104140813
申请日：2013-05-27
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：克佛耶茲安卓尼斯亨瑞克 , KOEVOETS, ADRIANUS HENDRIK , 當德斯史喬德尼可拉斯藍伯特斯 , DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS , 菲恩曼諾 , FIEN, MENNO , 德葛路特安東尼司法蘭西斯科司喬漢尼司 , DE GROOT, ANTONIUS FRANCISCUS JOHANNES , 胡甄丹克莉絲汀娜艾利珊卓 , HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER , 賈庫博喬漢斯亨利哈斯威廉瑪斯 , JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS , 添凱特尼可拉斯 , TEN KATE, NICOLAAS , 豪班馬提恩 , HOUBEN, MARTIJN , 拉法瑞雷孟德威黑墨斯路易斯 , LAFARRE, RAYMOND WILHELMUS LOUIS , 威斯特雷肯禎史蒂芬克里斯丁 , WESTERLAKEN, JAN STEVEN CHRISTIAAN , 奧維卡皮金文森 , OVERKAMP, JIM VINCENT , 凡比茲南馬登 , VAN BEIJNUM, MAARTEN , 德瓊羅伯 , DE JONG, ROB
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70716 , G03F7/70341 , G03F7/707 , G03F7/70733
摘要：一種用於一微影裝置之支撐裝置，其具有一物件固持器及一抽取本體，該抽取本體自該物件固持器徑向地向外。該物件固持器經組態以支撐一物件。該抽取本體包括經組態以自該支撐裝置之一頂部表面抽取流體之一抽取開口。該抽取本體係與該物件固持器隔開，使得該抽取本體自該物件固持器實質上解耦。該抽取本體包含一突出物，該突出物經組態成使得其環繞該物件固持器，且使得在使用時，一液體層保留於該突出物上且接觸該物件固持器上支撐之一物件。
简体摘要：一种用于一微影设备之支撑设备，其具有一对象固持器及一抽取本体，该抽取本体自该对象固持器径向地向外。该对象固持器经组态以支撑一对象。该抽取本体包括经组态以自该支撑设备之一顶部表面抽取流体之一抽取开口。该抽取本体系与该对象固持器隔开，使得该抽取本体自该对象固持器实质上解耦。该抽取本体包含一突出物，该突出物经组态成使得其环绕该对象固持器，且使得在使用时，一液体层保留于该突出物上且接触该对象固持器上支撑之一对象。

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