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    • 7. 发明公开
    • 열전 특성이 향상된 열전소재의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 열전소재
    • 一种制造具有改善的热电特性的热电材料和热电材料的方法
    • KR1020170058899A
    • 2017-05-29
    • KR1020170062095
    • 2017-05-19
    • 한국화학연구원
    • 조성윤이창진강영훈배은진유영재장광석
    • H01L35/34H01L35/12H01L35/24
    • 본발명은기판상에형성된열전재료를산성용액에침지시키는단계(단계 1); 상기단계 1의열전재료를세척하는단계(단계 2); 및상기단계 2의열전재료를열처리하는단계(단계 3);를포함하는열전소재의제조방법을제공한다. 본발명에따른열전소재의제조방법으로얻어진열전소재의열전특성이산성용액을이용한화학적처리를통해현저히증가되는효과가있다. 또한, 본발명의제조방법은열전소재를산성용액에담금처리하는공정만으로도수행될수 있고, 박막형성에어려운영향을미치지않아다양한기판, 크기모양의열전소자에적용할수 있는장점이있다.
    • 本发明提供了一种制造半导体器件的方法,包括:(a)将形成在衬底上的热电材料浸入酸性溶液中(步骤1); 洗涤步骤1的热电材料(步骤2); 以及对步骤2的热电材料进行热处理的步骤(步骤3)。 通过使用酸性溶液的化学处理,通过根据本发明的制造热电材料的方法获得的热电材料的热电特性显着增加。 此外,本发明的制造方法可以通过将热电材料浸渍在酸性溶液中进行,并且对成膜性没有困难的影响,因此可以应用于各种基板和尺寸的热电元件。