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    • 7. 发明申请
    • 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법 및 이를 이용한 엘이디 소자의 제조방법
    • 使用纳米薄膜形成金属氧化物薄膜图案的方法和使用其的LED元件的制造方法
    • WO2011087176A1
    • 2011-07-21
    • PCT/KR2010/000472
    • 2010-01-26
    • 한국기계연구원박형호정준호김기돈최대근최준혁이지혜이순원
    • 박형호정준호김기돈최대근최준혁이지혜이순원
    • H01L21/027H01L33/22
    • H01L33/42H01L2924/0002H01L2933/0016Y10T428/24802H01L2924/00
    • 본 발명은 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법 및 이를 이용한 LED 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 구현예에 따른 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법은 기판에 감광성 금속-유기물 전구체 용액을 코팅하는 단계; 요철구조가 패턴된 몰드를 준비하는 단계; 상기 패턴된 몰드로 상기 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층을 가압하는 단계; 상기 가압된 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층을 가열하거나 또는 가열함과 동시에 자외선을 조사하여 경화된 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계; 상기 패턴된 몰드를 상기 금속 산화박막 패턴으로부터 제거하는 단계;를 포함하며, 선택적으로 상기 금속 산화박막 패턴을 소성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 레지스트로 사용하기 위해 자외선 레진을 별도로 도포하는 공정이 생략될 수 있으므로 패턴 형성공정이 간소화되고, 단일 임프린트 공정으로 마이크로/나노 복합패턴을 형성할 수 있는 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법이 제공된다.
    • 本发明涉及使用纳米压印形成金属氧化物薄膜图案的方法和使用其的LED元件的制造方法。 根据本发明的一个实施方案,使用纳米压印形成金属氧化物薄膜图案的方法包括以下步骤:将感光金属 - 有机前体溶液涂布在基材上; 制备其上形成凹凸结构的模具; 通过图案化的模具对感光金属 - 有机前体涂层进行加压; 通过加热加压的感光金属 - 有机前体涂层或者一旦进行加热就照射紫外线,形成硬化的金属氧化物薄膜图案; 并且从所述金属氧化物薄膜图案去除所述图案化的模具,其中进一步包括选择性烧结所述金属氧化物薄膜图案的步骤。 因此,本发明提供了使用纳米压印形成金属氧化物薄膜图案的方法,其中省略了为了使用树脂作为抗蚀剂而分开施加紫外线树脂的工艺,从而简化了图案形成工艺并形成微/纳米 复杂的图案通过单一的印记过程。