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    • 5. 发明专利
    • 流量制御装置および流量制御方法
    • JP2020052648A
    • 2020-04-02
    • JP2018180516
    • 2018-09-26
    • 株式会社フジキン
    • 木村 純篠原 努
    • G05D7/06
    • 【課題】検出した圧力にフィルタリング処理を施すことなく、目標流量の変更に素早く流量が追従し、かつ流量のオーバーシュートやアンダーシュートが抑制された流量制御装置を提供する。 【解決手段】制御弁2と、流体抵抗要素としてのオリフィス5hと、上流側圧力センサ31と、下流側圧力センサ32と、オリフィス5hを通過する流体の流量を計量する流量計量部11と、流量計量部11で計量される流量が制御弁2により制御されるべき目標流量TAに追従するように制御弁2を制御するフィードバック制御部12と、を有する流量制御装置1であって、流量計量部11は、検出された一次側圧力P1および二次側圧力P2を使用して流量Q1を計量する計量部11Aと、流量Q1を二次側圧力P2の時間変化に基づいて算出される補正流量Q2で補正する補正部11Bと、を有する。 【選択図】図1