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1. 发明申请

WO2002065212A1 レジスト組成物审中-公开
标题翻译：耐腐蚀组合物
公开(公告)号：WO2002065212A1
公开(公告)日：2002-08-22
申请号：PCT/JP2002/000794
申请日：2002-01-31
申请人：旭硝子株式会社 , 金子勇 , 岡田伸治 , 川口泰秀 , 武部洋子 , 児玉俊一
发明人：金子勇 , 岡田伸治 , 川口泰秀 , 武部洋子 , 児玉俊一
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0392 , G03F7/0046 , G03F7/0395 , Y10S430/114 , Y10S430/146 , Y10T428/3154
摘要： A chemical amplification type resist composition which is excellent in transparency to a radiation and in suitability for dry etching and gives a resist pattern excellent in sensitivity, resolution, flatness, heat resistance, etc. The resist composition is characterized by comprising: (A) a fluoropolymer which has repeating units formed by the cyclopolymerization of a fluorinated diene represented by the formula (1) and which has a blocked acid group as Q; (B) an acid-generating compound which generates an acid upon irradiation with light; and (C) an organic solvent. CF2=CR -Q-CR =CH2 (1) (In the formula, R and R each independently represents hydrogen, fluorine, methyl, or trifluoromethyl; and Q represents a divalent organic group which is either a blocked acid group capable of becoming an acid group by the action of an acid or an organic group capable of being converted to the blocked acid group.)
摘要翻译：一种化学放大型抗蚀剂组合物，其透光度优异且适用于干蚀刻，并提供了灵敏度，分辨率，平坦度，耐热性等优异的抗蚀剂图案。抗蚀剂组合物的特征在于：（A）含有由式（1）表示的具有封端的酸基作为Q的氟化二烯的环化形成的重复单元的含氟聚合物; （B）在用光照射时产生酸的产酸化合物; 和（C）有机溶剂。 CF 2 = CR 1 -Q-CR 2 = CH 2（1）（式中，R 1和R 2各自独立地表示氢，氟，甲基或三氟甲基; Q表示二价有机基团该基团是能够通过酸或能够转化成封端的酸基的有机基团的作用而成为酸基的封端酸基。）

2. 发明申请

WO2004018534A1 含フッ素化合物、含フッ素ポリマー及びその製造方法审中-公开
标题翻译：氟化合物，氟聚合物及其生产方法
公开(公告)号：WO2004018534A1
公开(公告)日：2004-03-04
申请号：PCT/JP2003/010590
申请日：2003-08-21
申请人：旭硝子株式会社 , 児玉俊一 , 金子勇 , 横小路修 , 岡田伸治 , 武部洋子 , 川口泰秀
发明人：児玉俊一 , 金子勇 , 横小路修 , 岡田伸治 , 武部洋子 , 川口泰秀
IPC分类号： C08F36/20
CPC分类号： C08F36/20 , C08F36/16 , C08F214/18 , C08F2/60
摘要：官能基の濃度が高く充分な官能基の特性を得ることができ、かつ、Ｔｇの低下をもたらさない含フッ素ポリマーを提供すること。　式（１）で表される官能基含有含フッ素ジエンが環化重合することにより形成されるモノマー単位を有する含フッ素ポリマー。　ＣＦＲ１＝ＣＲ２ −Ｑ−ＣＲ３＝ＣＨＲ４ …（１）（式中、Ｒ１～Ｒ４は、相互に独立して、水素原子、フッ素原子、炭素数８以下のアルキル基、または環状脂肪族炭化水素基を表し、少なくとも１つは環状脂肪族炭化水素基である。アルキル基および環状脂肪族炭化水素基中の水素原子はフッ素原子、アルキル基又はフルオロアルキル基で置換されていてもよい。Ｑは２価の有機基であってかつ酸により酸性基を発現することができるブロック化酸性基または該ブロック化酸性基に変換しうる基を有する有機基を表す。）
摘要翻译：本发明提供含有高含量官能团的含氟聚合物，因此可以充分发挥官能团的特性，并且不会导致Tg降低，即包含通过具有官能团的氟化二烯的环化聚合形成的单体单元的含氟聚合物如通式（1）所示：CFR 1 = CR 2 -Q-CR 3 = CHR 4（1）其中R 1至R 4各自独立地为氢，氟，具有至多8个碳原子的烷基或脂环烃基，条件是R 1至R 4中的至少一个是脂环烃基，并且烷基或脂环烃基可以被氟，烷基或氟烷基; Q是具有能够酸形成的酸性基团的封端酸基的二价有机基团或可转化为封端的酸基的有机基团。

3. 发明申请

WO2004041877A1 含フッ素ポリマー审中-公开
标题翻译：含氟聚合物
公开(公告)号：WO2004041877A1
公开(公告)日：2004-05-21
申请号：PCT/JP2003/014159
申请日：2003-11-06
申请人：旭硝子株式会社 , 川口泰秀 , 岡田伸治 , 武部洋子 , 横小路修 , 金子勇
发明人：川口泰秀 , 岡田伸治 , 武部洋子 , 横小路修 , 金子勇
IPC分类号： C08F36/20
CPC分类号： C08F214/18 , C08F36/20 , C08F2/60
摘要：２５０ｎｍ以下のエキシマレーザーのレジスト材料用ベースポリマーに好適な含フッ素ポリマーを提供すること。　下記式（３）で表される含フッ素ジエン化合物が環化重合したモノマー単位を有する含フッ素ポリマー。　ＣＦ 2 ＝ＣＦＣＦ 2 −Ｃ（ＣＦ 3 ）（Ｒ 5 ）−ＣＨ 2 ＣＨ＝ＣＨ 2 　　（３）　ただし、Ｒ 5 は−ＣＨＲ 7 −Ｏ−Ｒ 8 によりブロック化された水酸基または該水酸基を有する有機基であり、Ｒ 8 は、置換基を有していてもよいシクロアルキル基などの環式飽和炭化水素、該環式飽和炭化水素を有する有機基を表す。
摘要翻译：适合用作发射波长为250nm或更短的光的准分子激光器抗蚀剂材料的基础聚合物的氟聚合物。含氟聚合物具有通过由下式（3）表示的氟化二烯化合物的环化聚合形成的单体单元：CF 2 = CFCF 2 -C（CF 3）（R 5）-CH 2 CH = CH 2（3）其中R 5表示被-CHR 7 -OR 8封端的羟基或具有羟基的有机基团; 并且R 8表示任选取代的环状饱和烃，例如环烷基或具有环状饱和烃的有机基团。

4. 发明申请

WO2004042475A1 レジスト組成物审中-公开
标题翻译：耐腐蚀组合物
公开(公告)号：WO2004042475A1
公开(公告)日：2004-05-21
申请号：PCT/JP2003/014158
申请日：2003-11-06
申请人：旭硝子株式会社 , 川口泰秀 , 金子勇 , 武部洋子 , 岡田伸治 , 横小路修
发明人：川口泰秀 , 金子勇 , 武部洋子 , 岡田伸治 , 横小路修
IPC分类号： G03F7/039
CPC分类号： G03F7/0397 , C08F14/18 , C08F36/16 , G03C1/492 , G03F7/0046 , G03F7/0392
摘要：Ｆ 2 エキシマレーザー等の真空紫外線に対する透明性、ドライエッチング性に優れ、さらに感度、解像度、平坦性、耐熱性等に優れたレジストパターンを容易に形成できるレジスト組成物を提供する。　シクロアルキル基、シクロアルキル基を１個以上有する有機基またはビシクロアルキル基等を有するブロック化基によりブロック化されている酸性基を有する含フッ素ポリマー（Ａ）、光照射を受けて酸を発生する酸発生化合物（Ｂ）および有機溶媒（Ｃ）を含むことを特徴とするレジスト組成物。
摘要翻译：一种抗蚀剂组合物，其特征在于，它包含（A）具有酸性基团的含氟聚合物被具有环烷基的封端基，具有一个或多个环烷基的有机基团，双环烷基等，（B）能够通过光照射产生酸的酸产生化合物，和（C）有机溶剂。抗蚀剂组合物对于F2准分子激光器等真空紫外线的透明性和干蚀刻特性优异，还可以容易地形成灵敏度，分辨率，平坦度，耐热性等优异的抗蚀剂图案。

5. 发明专利

JP5978761B2 インプリント用光硬化性組成物および微細パターンを表面に有する成形体の製造方法有权
标题翻译：生产具有压印光固化组合物和表面上的精细图案的成形体
公开(公告)号：JP5978761B2
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：JP2012117491
申请日：2012-05-23
申请人：旭硝子株式会社
发明人：川口泰秀 , 岡田伸治
IPC分类号： C08F220/22 , C08F220/58 , C08F2/48

6. 发明申请

WO2008015842A1 モールドの製造方法审中-公开
标题翻译：生产模具的工艺
公开(公告)号：WO2008015842A1
公开(公告)日：2008-02-07
申请号：PCT/JP2007/061760
申请日：2007-06-11
申请人：旭硝子株式会社 , 川口泰秀 , 浅川昭彦 , 野中史子
发明人：川口泰秀 , 浅川昭彦 , 野中史子
IPC分类号： B29C59/04 , B29C33/38 , B29C43/46
CPC分类号： B29C43/46 , B29C33/3857 , B29C33/68 , B29C43/06 , B29C43/222 , B29C59/021 , B29C59/10 , B29C59/14 , B29C59/16 , B29C2035/0827 , B29C2043/463 , B29K2027/12
摘要：　含フッ素重合体を含むパターン層に継ぎ目のない円筒状または円柱状のモールドを製造できる方法を提供する。　円筒状または円柱状の基材１２と、含フッ素重合体を含み、表面にパターンが形成されたパターン層とを有するモールドを製造する方法であって、基材１２の外周面側を覆うように含フッ素重合体を含む膜３２を形成し、モールド前駆体３０を得る工程と、パターン層のパターンに対応する反転パターンを有する、加熱されたオリジナルモールド４０表面にモールド前駆体３０の外周面を押しあてた状態で、モールド前駆体３０を回転させ、オリジナルモールド４０の反転パターンを含フッ素重合体を含む膜３２に転写してパターン層を形成する工程と、を有するモールドの製造方法。
摘要翻译：可以制造具有包含氟聚合物的无缝图案层的中空圆柱体或实心圆筒形状的模具的方法。该方法用于制造包括中空圆柱体或实心圆筒形式的基底（12）的模具和包含含氟聚合物并具有形成在其表面上的图案的图案层，该方法包括：其中薄膜形成含氟聚合物，以便涂覆基体（12）的外围表面以获得模具前体（30）; 以及将模具前体（30）的外周表面压靠在具有与图案化层的图案相反的图案的加热的原稿（40）的表面的步骤，并且将模具前体（30）在从而将原始模具（40）的反转图案转移到包含含氟聚合物的薄膜（32）上并形成图案化层。

7. 发明申请

WO2006059580A1 モールド、および転写微細パターンを有する基材の製造方法审中-公开
标题翻译：用于生产具有转移微孔板的基底的模具和工艺
公开(公告)号：WO2006059580A1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：PCT/JP2005/021821
申请日：2005-11-28
申请人：旭硝子株式会社 , 川口泰秀 , 坂根好彦 , 白川大祐
发明人：川口泰秀 , 坂根好彦 , 白川大祐
IPC分类号： B29C33/40 , B29C33/42 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C33/56 , B29C35/0888 , B29C59/022 , B29C2059/023 , B29L2011/00 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要：　モールド、および転写微細パターンを有する基材の製造方法を提供する。　光硬化性樹脂を成形するための微細パターンを有するモールドであり、下記中間層（Ａ）が形成される表面に官能基（ｘ）に基づく化学結合を有する透明基体と；該透明基体表面と下記表面層（Ｂ）との間に存在する中間層（Ａ）と；微細パターンを有する下記表面層（Ｂ）と；を有することを特徴とするモールド。　中間層（Ａ）：主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体であって、前記官能基（ｘ）と反応性の反応性基（ｙ）を有する含フッ素重合体（１）からなる層。　表面層（Ｂ）：主鎖に含フッ素脂肪族環構造を有する含フッ素重合体であって、前記反応性基（ｙ）を実質的に有しない含フッ素重合体（２）からなり、表面に微細パターンを有する層。
摘要翻译：本发明提供一种用于生产其上具有转移的微图案的基底的模具和方法。一种具有用于形成光固化树脂的微图案的模具，其特征在于，包括由一个表面上的官能团（x）产生的化学键的透明基材; 形成在由官能团（x）产生的化学键的透明基材的表面上形成的中间层（A）; 和形成在所述中间层（A）上的表面层（B），在所述中间层（A）上具有微图案，所述中间层（A）是在所述主链中具有氟化脂环结构的含氟聚合物（1）与官能团（x）和表面层（B）反应的基团（y）是在表面具有微图案的层，并且由在主链中具有氟化脂环结构的氟聚合物（2）制成，并且是基本上不含反应性基团（y）。

8. 发明申请

WO2009078313A1 表面改質剤およびそれを含む塗膜を有する物品审中-公开
标题翻译：表面改性剂及其包含其的涂膜的制品
公开(公告)号：WO2009078313A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/JP2008/072354
申请日：2008-12-09
申请人：旭硝子株式会社 , 上野勝也 , 山田和彦 , 川口泰秀
发明人：上野勝也 , 山田和彦 , 川口泰秀
IPC分类号： C09K3/00 , B29C33/60 , C09D5/16 , C09D133/24 , C09D171/00 , C09D201/04 , C09K3/18
CPC分类号： B29C33/62 , B29K2027/12 , C08G65/007 , C09D5/1625
摘要：　基材の表面を充分に改質でき、基材の表面への接着性が良好である塗膜を形成できる表面改質剤、および表面が充分に改質され、該状態を長期間保持できる物品の提供。　下式（１）で表される化合物を含む表面改質剤、および該表面改質剤を用いた、表面が改質された物品。　式中、ＲはＲｆ－Ｘ－であり、左右のＲは同一の基であり、Ｒｆは、炭素数１～２０のパーフルオロアルキル基であり、Ｘは－（ＯＣ３Ｆ６）－、－（ＯＣ２Ｆ４）－、および－（ＯＣＦ２）－の単位のうちの１種以上の繰り返しであり、かつ該単位の数の合計が１以上の基であり、Ｙは、炭素数２以上の３価の有機基であり、ｎの平均は２～１００である。
摘要翻译：公开了一种表面改性剂，其能够对基材的表面进行充分改性，并形成对基材表面具有良好粘附性的涂膜。还公开了具有足够改性表面的制品，其能够长时间保持改性状态。具体公开的是含有式（1）表示的化合物的表面改性剂。在该式中，R表示Rf-X-，左侧和右侧表示相同的基团; Rf表示具有1-20个碳原子的全氟烷基; X表示重复以下单元中的一个或多个： - （OC 3 F 6） - ， - （OC 2 F 4） - 和 - （OCF 2） - ，并且单元的总数不小于1; Y表示碳原子数2以上的3价有机基团。 n平均为2-100。

9. 发明申请

WO2008096594A1 インプリント用モールドおよびその製造方法审中-公开
标题翻译：印刷模具及其生产方法
公开(公告)号：WO2008096594A1
公开(公告)日：2008-08-14
申请号：PCT/JP2008/050826
申请日：2008-01-22
申请人：旭硝子株式会社 , 上野勝也 , 川口泰秀
发明人：上野勝也 , 川口泰秀
IPC分类号： B29C33/62 , B29C33/38 , B29K23/00 , B29L11/00
CPC分类号： B29C33/62 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , Y10T428/31663
摘要：　表面に設けられた被覆層が剥離しにくいインプリント用モールドおよびその製造方法を提供する。　モールド本体と、該モールド本体の表面に設けられた、離型剤からなる被覆層とを有し、前記離型剤が、下式（１）で表される化合物を含むことを特徴とするインプリント用モールド、およびその製造方法。　ただし、Ｒ＝Ｒｆ－Ｘ－、左右のＲは同一の基、Ｒｆ＝パーフルオロアルキル基、Ｘ＝－（ＯＣ３Ｆ６）－、－（ＯＣ２Ｆ４）－、－（ＯＣＦ２）－のうちの１種以上かつ該単位の合計が１以上の基、Ｙ＝有機基、ｎの平均＝２～１０、Ｚ＝－Ｓｉ（Ｒ１）ｍ（Ｒ２）３－ｍ、Ｒ１＝水酸基または加水分解可能な基、Ｒ２＝水素原子または炭化水素基、ｍ＝１～３。
摘要翻译：公开了一种压印模具，其特征在于，设置在模具表面上的涂层几乎不脱离模具; 和压印模具的制造方法。具体公开的是：包含模具主体的压印模具和包含脱模剂的涂层，设置在主体的表面上，其中脱模剂包含由式（1）表示的化合物; 和压印模具的制造方法。其中R表示Rf-X-，条件是两个R彼此相同; Rf表示全氟烷基; X表示由选自以下的一个或多个单元构成的基团： - （OC 3 F 6 N） - ， - （OC 2 F 6） 4 - ） - 和 - （OCF 2 - ） - ，其中单元的总数为1或更大; Y表示有机基团; n表示平均为2〜10个数; Z表示-Si（R 1）2 m（R 2）3-m; R 1表示羟基或可水解基团; R 2表示氢原子或烃基; m表示1〜3的数。

10. 发明申请

WO2008155928A1 光硬化性組成物および表面に微細パターンを有する成形体の製造方法审中-公开
标题翻译：用于生产具有表面精细图案的模制对象的光致组合物和工艺
公开(公告)号：WO2008155928A1
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：PCT/JP2008/052373
申请日：2008-02-13
申请人：旭硝子株式会社 , 川口泰秀 , 角崎健太郎
发明人：川口泰秀 , 角崎健太郎
IPC分类号： C08F220/20 , B29C59/02 , C08F220/22 , H01L21/027
CPC分类号： C08F220/20 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F220/18 , C08F220/22 , G02B5/1852 , G02B5/1857 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/027 , G03F7/033 , C08F222/1006
摘要：　離型性および機械的強度に優れる硬化物を得ることができる光硬化性組成物、およびモールドの反転パターンが精密に転写された微細パターンを表面に有する、耐久性に優れた成形体を製造できる方法を提供する。　環を２つ以上有する芳香族化合物または環を２つ以上有する脂環式化合物であり、かつ（メタ）アクリロイルオキシ基を２つ有する化合物（Ａ）の１５～６０質量％と、フッ素原子を有し、かつ炭素－炭素不飽和二重結合を１つ以上有する化合物（Ｂ）（ただし化合物（Ａ）を除く。）の５～４０質量％と、（メタ）アクリロイルオキシ基を１つ有する化合物（Ｃ）（ただし化合物（Ｂ）を除く。）の１０～５５質量％と、光重合開始剤（Ｄ）の１～１２質量％とを含む（ただし（Ａ）＋（Ｂ）＋（Ｃ）＋（Ｄ）＝１００質量％である。）光硬化性組成物２０を用いる。
摘要翻译：能够赋予脱模性和机械强度优异的固化物的光固化性组合物; 以及制造具有优异耐久性的模制品的方法，其在表面上具有与模具图案相反的精确转移的图案。光固化性组合物（20）包括：15〜60质量％的化合物（A），其为具有两个以上环的芳香族化合物或具有两个以上环的脂环族化合物，具有两个（甲基）丙烯酰氧基; 5-40质量％的具有氟原子和一个或多个碳 - 碳不饱和双键的化合物（B）（不包括化合物（A））; 具有一个（甲基）丙烯酰氧基的10-55质量％化合物（C）（不包括化合物（B））; 和1-12质量％的光聚合引发剂（D）（条件是（A）+（B）+（C）+（D）= 100质量％）。

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