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1. 实用新型

TWM468693U 移載裝置失效
简体标题：移载设备
公开(公告)号：TWM468693U
公开(公告)日：2013-12-21
申请号：TW102214381
申请日：2013-07-31
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：林振弘 , 汪晨偉 , 陳明宗 , CHEN, MING TSUNG
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/677

2. 发明专利

TW201606443A 具光能回收機構的曝光機审中-公开
简体标题：具光能回收机构的曝光机
公开(公告)号：TW201606443A
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：TW103126434
申请日：2014-08-01
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：汪晨偉 , WANG, CHEN WEI , 陳明宗 , CHEN, MING TSUNG
IPC分类号： G03F7/20
摘要：一種具光能回收機構的曝光機，包含：一腔室及設置於該腔室內的一光源、一集光罩、一冷光鏡、一積光鏡、一遮光板與一光能回收機構。集光罩將光源匯集成一光束，且使該光束朝一第一路徑前進。冷光鏡包括一與該第一路徑夾一角度的反光面，該反光面將由集光罩前進而來的光束反射而朝一第二路徑前進。積光鏡位於該第二路徑上且匯聚由冷光鏡反射而來的光束。遮光板與積光鏡間隔設置，並能相對積光鏡在一曝光位置及一遮蔽位置移動，當在該曝光位置時，該光束對一目標物進行曝光，而當在該遮蔽位置時，遮光板遮蔽該光束。而光能回收機構將該光束之光能轉換為電能。
简体摘要：一种具光能回收机构的曝光机，包含：一腔室及设置于该腔室内的一光源、一集光罩、一冷光镜、一积光镜、一遮光板与一光能回收机构。集光罩将光源汇集成一光束，且使该光束朝一第一路径前进。冷光镜包括一与该第一路径夹一角度的反光面，该反光面将由集光罩前进而来的光束反射而朝一第二路径前进。积光镜位于该第二路径上且汇聚由冷光镜反射而来的光束。遮光板与积光镜间隔设置，并能相对积光镜在一曝光位置及一屏蔽位置移动，当在该曝光位置时，该光束对一目标物进行曝光，而当在该屏蔽位置时，遮光板屏蔽该光束。而光能回收机构将该光束之光能转换为电能。

3. 实用新型

TWM468858U 擴張定位機構有权
简体标题：扩张定位机构
公开(公告)号：TWM468858U
公开(公告)日：2013-12-21
申请号：TW102216145
申请日：2013-08-28
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：林志持 , 陳明宗 , CHEN, MING TSUNG , 汪晨偉 , 戴紹峰
IPC分类号： H05K3/00 , B23Q3/18

4. 实用新型

TWM466281U 定位機構有权
简体标题：定位机构
公开(公告)号：TWM466281U
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：TW102212660
申请日：2013-07-04
申请人：志聖工業股份有限公司 , C SUN MFG. LTD.
发明人：戴紹峰 , 陳明宗 , 汪晨偉
IPC分类号： G03D13/08

5. 实用新型

TWM414051U 光源裝置及具有該光源裝置的曝光機有权
简体标题：光源设备及具有该光源设备的曝光机
公开(公告)号：TWM414051U
公开(公告)日：2011-10-11
申请号：TW100206682
申请日：2011-04-15
申请人：志聖工業股份有限公司
发明人：張永裕 , 汪晨偉
IPC分类号： H05K
摘要：一種光源裝置，包含一光源模組及一高度調整機構，高度調整機構包括一固定架、一活動架及一氣缸，活動架供光源模組安裝並可帶動光源模組相對於固定架上下移動；氣缸包含一設置於固定架上的缸體，及一穿設於缸體內並與活動架相連接的氣缸伸縮桿，氣缸伸縮桿呈縱向延伸可相對於缸體上下運動，高度調整機構可帶動光源模組上下移動地調整高度，使得光源模組與上對位台框之間的距離以及光源模組與下對位台框之間的距離能調整成相同，藉此，光源裝置對上對位台框與下對位台框曝光的強度與均勻度能保持一致，以提升曝光的品質。
简体摘要：一种光源设备，包含一光源模块及一高度调整机构，高度调整机构包括一固定架、一活动架及一气缸，活动架供光源模块安装并可带动光源模块相对于固定架上下移动；气缸包含一设置于固定架上的缸体，及一穿设于缸体内并与活动架相连接的气缸伸缩杆，气缸伸缩杆呈纵向延伸可相对于缸体上下运动，高度调整机构可带动光源模块上下移动地调整高度，使得光源模块与上对位台框之间的距离以及光源模块与下对位台框之间的距离能调整成相同，借此，光源设备对上对位台框与下对位台框曝光的强度与均匀度能保持一致，以提升曝光的品质。

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