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1. 发明专利

JP2019066394A イオンビーム加工治具および断面加工方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019066394A
公开(公告)日：2019-04-25
申请号：JP2017193863
申请日：2017-10-03
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：小泉俊幸 , 川田国安
IPC分类号： G01N1/28
摘要：【課題】被検物を樹脂に埋め込むことなく、平滑性の高い断面を有する試料を作成することができるイオンビーム加工治具及び断面加工方法を提供する。【解決手段】イオンビーム加工治具100は、第1突出部20と第2突出部22とを有する本体部10と、試料保持領域55を含む第1の主面52Aを有し、第1突出部20及び第2突出部22に支持され、本体部10の第1突出部20と第2突出部22との間の領域24に試料保持領域55が間隔をおいて対向するように、本体部10上に配置される金属箔52と、金属箔52の第2の主面52B上に、第1突出部20と第2突出部22との間に金属箔52を挟むように配置され、イオンビームを遮蔽する遮蔽部材50とを備える。遮蔽部材50から金属箔52の側とは反対側に離れた視点から平面的に見て、金属箔52が、遮蔽部材50から金属箔52の試料保持領域55に対応する部分がはみ出したはみ出し部56を有する。【選択図】図5

2. 发明专利

JP6020968B2 研磨治具有权
标题翻译：研磨加工夹具
公开(公告)号：JP6020968B2
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2013064761
申请日：2013-03-26
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：上村重明 , 川田国安
IPC分类号： B24B37/34 , B24B41/06

3. 发明专利

JP2015169585A 試料の断面作製方法审中-公开
标题翻译：样品交叉部分的制备方法
公开(公告)号：JP2015169585A
公开(公告)日：2015-09-28
申请号：JP2014045809
申请日：2014-03-10
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：川田国安 , 山川真弘
IPC分类号： G01N1/28
摘要：【課題】試料にイオンビームを照射して試料の断面を作製する際、少ない照射回数で所定の断面を作製できる試料の断面作製方法を提供する。【解決手段】準備工程として、主加工面11と、隣接加工面12と、これら両面で形成される稜線部13とを有する試料10を用意し、主加工面の一部を遮蔽板30で覆って、主加工面の稜線部から所定長さの領域を露出面11eとして露出させる。次に、露出面に垂直な方向から露出面にイオンビームを照射して、試料の露出面から隣接加工面に亘る所定領域を除去して試料の断面14を作製する。隣接加工面は、露出面とのなす角が91°以上95°以下の傾斜面で構成する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种样品的横截面的制备方法，其可以通过向样品照射离子束来制备样品的横截面时，可以制备具有小的照射频率的指定横截面。解决方案：作为制备步骤，制备具有主处理表面11，相邻处理表面12和由表面11和12形成的边缘线部分13的样品10，主处理表面的一部分被掩蔽屏蔽层30覆盖，并且主处理用面的边缘线部13的指定长度的面积作为露出面11e露出。然后，通过从垂直于暴露表面的方向将离子束照射到暴露表面，并将暴露表面的指定区域从样品的相邻处理表面12移除，来制备样品的横截面14。相邻的处理表面包括与暴露表面的角度为91°-95°的倾斜表面。

4. 发明专利

JP2020093333A 研磨治具审中-公开
公开(公告)号：JP2020093333A
公开(公告)日：2020-06-18
申请号：JP2018231915
申请日：2018-12-11
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：山本琢磨 , 川田国安
IPC分类号： H01L21/304 , B24B41/06
摘要：【課題】簡易な構成で、再使用可能な研磨治具を提供する。【解決手段】筒部と、前記筒部の一端側に形成されるフランジ部とを有する第一部材と、前記フランジ部に着脱自在に固定される環状の平板部材と、前記第一部材内に配置された被加工物を前記平板部材と対向する研磨定盤に前記筒部の内側から押さえ付ける第二部材とを備え、前記平板部材の前記研磨定盤と対向する摺接面は、前記平板部材の内周から外周に達する複数の溝を有する、研磨治具。【選択図】図2

5. 发明专利

JP2019063957A 研磨治具审中-公开
公开(公告)号：JP2019063957A
公开(公告)日：2019-04-25
申请号：JP2017193864
申请日：2017-10-03
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：小泉俊幸 , 川田国安
IPC分类号： B24B37/34 , B24B41/06
摘要：【課題】簡素な構造でありながら、直交する二面を形成するように研磨された試料を作業効率よく作製することを可能にする研磨治具を提供する。【解決手段】研磨治具は、試料20を保持するための試料保持面10Aを有する本体部40と、試料保持面10Aが露出するように、本体部40を保持する装着台と、を備える。本体部40および装着台の少なくともいずれか一方は、第1の状態で本体部と装着台とを着脱自在に連結する第1連結部50と、第2の状態で本体部と装着台とを着脱自在に連結する第2連結部52と、を含む。第1の状態における試料保持面10Aと、第2の状態における試料保持面10Aとは直交する。【選択図】図13

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