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    • 2. 发明申请
    • 回折光学素子の光学特性測定方法および回折光学素子の光学特性測定装置
    • 用于测量衍射光学元件的光学特性的方法和用于测量衍射光学元件的光学特性的装置
    • WO2008072709A1
    • 2008-06-19
    • PCT/JP2007/074058
    • 2007-12-13
    • 松下電器産業株式会社安藤 貴真是永 継博
    • 安藤 貴真是永 継博
    • G01M11/00G02B5/18
    • G01M11/0228G02B5/189
    • 【課題】撮像用レンズである回折光学素子によって集光した回折光を任意の波長域において、微弱な光でも検出し、スポット光の光量、回折効率や光軸方向の輝度分布を簡便に精度よく評価することが可能な測定方法および評価装置を提供する。 【解決手段】白色光源11から出射した光が波長帯域通過フィルタ12を通過し、ピンホールスリット13により光が絞られる。その光がコリメートレンズ14により平行光にされ、撮像用レンズである回折光学素子16に入射する。回折光学素子16を出た光は集光してスポット光17となり、顕微鏡18によって拡大されCCD19に投影される。CCD19は距離変更部材56により回折光学素子16からの距離が変更されて光軸方向の輝度分布が測定される。また、光軸に垂直な面内輝度分布も計測される。
    • 提供一种用于检测由成像透镜(即衍射光学元件)会聚的衍射光的任意波长区域中的甚至微弱光的测量方法和评估装置,并评估光学元件中的数量,衍射效率或亮度分布 方向和精确的点光轴方向。 解决问题的手段从白色光源(11)发射的光通过波长带通滤光器(12)并被针孔狭缝(13)节流。 在撞击成像透镜即衍射光学元件(16)之前,该准直透镜(14)被准直。 离开衍射光学元件(16)的光被聚光为点光(17),然后在投影到CCD(19)之前用显微镜(18)放大。 CCD(19)与衍射光学元件(16)的距离被距离改变构件(56)改变,并且测量光轴方向上的亮度分布。 还测量垂直于光轴的平面中的亮度分布。