Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Überwachen eines Bearbeitungsprozesses eines Werkstücks (W, W', W"), insbesondere eines Laserschweißens, mittels eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (50; 250), wobei das Verfahren die Schritte umfasst: Festlegen einer Bearbeitungsfigur (58; 258), die mehrere Bearbeitungspositionen (64, 66, 68) mit zugehörigen mehrdimensionalen Bearbeitungspositionskoordinaten definiert; Erzeugen eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (50; 250) sowie Projizieren und/oder Fokussieren des Bearbeitungsstrahls (50; 250) auf das Werkstück (W, W', W") gemäß der Bearbeitungsfigur (58; 458); Erzeugen eines Messstrahls (28; 228) mittels eines optischen Kohärenztomographen (16), wobei der Messstrahl (28; 228) in den Bearbeitungsstrahl (50; 250) einkoppelbar ist; Festlegen von Messpositionen (70, 72, 74) auf dem Werkstück (W, W', W") an zumindest einigen der Bearbeitungspositionen (64, 66, 68) und/oder in deren Nähe; Bestimmen von Messwerten an den Messpositionen (70, 72, 74) durch Richten des Messstrahls (28; 228) auf die Messpositionen (70, 72, 74); und Erzeugen zumindest einer Darstellung (76, 86, 102, 106, 110; 233; 433), die auf mehrdimensional ortsabhängiger Information beruht, die sich auf die Bearbeitungspositionskoordinaten, die Messwerte und/oder die Messpositionen (70, 72, 74) bezieht. Die Erfindung betrifft zudem eine zugehörige Vorrichtung, eine Steuereinheit und ein Computerprogrammprodukt.