基本信息:
- 专利标题： VERFAHREN UND MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT
- 专利标题（英）：Method and micromechanical component
- 专利标题（中）：方法和微机械组分
- 申请号：PCT/EP2017/056824 申请日：2017-03-22
- 公开(公告)号：WO2017198369A1 公开(公告)日：2017-11-23
- 发明人： ZHANG, Guangzhao , DIAZZI, Francesco , KHALILYULIN, Ruslan , VISCONTI, Andrea
- 申请人： ROBERT BOSCH GMBH
- 申请人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人： ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人地址： Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 优先权： DE10 20160518
- 主分类号： G01C19/5776
- IPC分类号： G01C19/5776 ; G01P15/03
摘要：
Es wird ein Verfahren zum Antreiben einer Antriebsmasse eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei in einem ersten Verfahrensschritt die Antriebsmasse von einem ersten Treiber des mikromechanischen Bauelements derart angetrieben wird, dass die Antriebsmasse aus einer Ruheposition in eine Schwingung mit zeitlich zunehmender Bewegungsamplitude versetzt wird, wobei in einem zweiten Verfahrensschritt die Antriebsmasse von einem zweiten Treiber des mikromechanischen Bauelements derart angetrieben wird, dass die Antriebsmasse in eine Schwingung mit im Wesentlichen zeitlich konstanter Bewegungsamplitude versetzt wird, wobei ein zeitliches Ende des ersten Verfahrensschritts und ein zeitlicher Anfang des zweiten Verfahrensschritts von einem Amplitudenregler des mikromechanischen Bauelements bestimmt wird.
摘要（中）：
它提出了一种用于驱动微机械部件，其中所述驱动质量块由微机械元件的第一驱动器以这样的方式在第一工艺步骤中被驱动的驱动质量块的方法，即从静止位置驱动质量块与时间振荡 驱动质量块的增加运动幅度由微机械元件的第二驱动器以这样的方式在第二方法步骤中驱动，该驱动质量块被放入与运动的大致时间上恒定振幅的振荡被设置，其中所述第一工艺步骤的时间端和时间的开始 第二个方法步骤由微机械装置的幅度控制器确定。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01C | 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学 |
| ------G01C19/00 | 陀螺仪；带有振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置 |
| --------G01C19/02 | .旋转式陀螺仪 |
| ----------G01C19/5776 | ..不局限于G01C19/5607至G01C19/5719中的装置的信号处理 |