基本信息:
- 专利标题： 圧電素子、圧電マイクロフォン、圧電共振子及び圧電素子の製造方法
- 专利标题（英）：Piezoelectric element, piezoelectric microphone, piezoelectric resonator and method for manufacturing piezoelectric element
- 专利标题（中）：压电元件，压电麦克风，压电谐振器和制造压电元件的方法
- 申请号：PCT/JP2016/084132 申请日：2016-11-17
- 公开(公告)号：WO2017094520A1 公开(公告)日：2017-06-08
- 发明人： 梅田 圭一 , 水野 孝昭
- 申请人： 株式会社村田製作所
- 申请人地址： 〒6178555 京都府長岡京市東神足1丁目10番1号 Kyoto JP
- 专利权人： 株式会社村田製作所
- 当前专利权人： 株式会社村田製作所
- 当前专利权人地址： 〒6178555 京都府長岡京市東神足１丁目１０番１号 Kyoto JP
- 代理机构： 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
- 优先权： JP2015-235504 20151202
- 主分类号： H01L41/187
- IPC分类号： H01L41/187 ; H01L41/09 ; H01L41/113 ; H01L41/257 ; H01L41/316 ; H03H9/17 ; H04R17/02 ; H04R31/00
摘要：
隣り合う圧電体層の分極軸方向の制御を高精度で行うことができる、バイモルフ型の圧電素子を提供する。 本発明に係る圧電素子１は、厚み方向において第１の分極軸方向Ｐ１を有し、かつＡｌＮからなる第１の圧電体層４と、第１の圧電体層４上に堆積されており、第１の分極軸方向Ｐ１とは逆方向である第２の分極軸方向Ｐ２を有し、かつＧｅＡｌＮからなる第２の圧電体層５と、第１の圧電体層４の、第２の圧電体層５側とは反対側に設けられている第１の電極３ａと、第２の圧電体層５の、第１の圧電体層４側とは反対側に設けられている第２の電極３ｂとを備える。
摘要（中）：
提供了一种能够以高精度控制相邻压电层的偏振轴方向的双压电晶片型压电元件。 根据本发明的压电元件1具有在厚度方向上的第一偏振轴方向P1，和由AlN构成的第一压电体层4，其被沉积在第一压电体层4上， 第一偏振轴P1具有第二偏振轴方向P2这是相反的方向，并取得GeAlN的第二压电层5，第一压电体层4，第二压电 第一电极3a和体层5侧的第二压电层5的相反的一侧，设置在所述第一压电体层4侧的相反侧的第二电极 3 b。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H04 | 电通信技术 |
| ----H04R | 扬声器、送话器、唱机拾音器或类似的传感器 |
| ------H01L41/16 | .材料的选择 |
| --------H01L41/18 | ..用于压电器件或电致伸缩器件的 |
| ----------H01L41/187 | ...陶瓷合成物 |