发明申请
WO2016150757A1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES REFLEKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTS UND REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES REFLEKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTS UND REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT
- 专利标题（英）：Method for producing a reflective optical element and reflective optical element
- 专利标题（中）：制造方法的反射光学元件和反射光学元件
- 申请号：PCT/EP2016/055526 申请日：2016-03-15
- 公开(公告)号：WO2016150757A1 公开(公告)日：2016-09-29
- 发明人： BINGEL, Ulrich , BAUER, Markus , SHKLOVER, Vitaliy
- 申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
- 申请人地址： Rudolf-eber-strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： CARL ZEISS SMT GMBH
- 当前专利权人： CARL ZEISS SMT GMBH
- 当前专利权人地址： Rudolf-eber-strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： WERNER & TEN BRINK - PATENTANWÄLTE PARTGMBB
- 优先权： DE102015104262.2 20150320
- 主分类号： C25D1/06
- IPC分类号： C25D1/06 ; C25D1/20 ; C25D15/00 ; G02B5/00
摘要：
Zur Herstellung eines reflektiven optischen Elements mit einem Grundkörper, das filigran und dennoch hinreichend formstabil ist, wird ein Verfahren vorgeschlagen mit den Schritten: - Bereitstellen eines Abformkörpers mit einer Oberfläche, die der Geometrie des reflektiven optischen Elements entspricht; - Aufbringen eines Schichtsystems mit mindestens einer Trennschicht auf der Oberfläche des Abformkörpers; - Elektroformen eines Grundkörpers auf dem Schichtsystem; und - Ablösen des Grundkörpers vom Abformkörper an der mindestens einen Trennschicht, dadurch gekennzeichnet, dass beim Elektroformen des Grundkörpers eine erste Grundkörperschicht aus nicht-dispersionsverstärktem Material und anschließend eine zweite Grundkörperschicht aus dispersionsverstärktem Metall abgeschieden wird.
摘要（中）：
用于制造具有基体，它是精致的，但足够的尺寸稳定的反射光学元件，提出一种方法，其包括以下步骤： - 提供具有对应于反射光学元件的几何形状表面的心轴; - 沉积层系统与Abformkörpers的表面上的至少一个释放层; - 该层系统上的基体的电铸; 和 - 从Abformkörper基体分离到所述至少一个分离层，其特征在于，非分散增强材料的第一基极层，然后分散体的第二基极层强化金属沉积在基体的电铸。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C25 | 电解或电泳工艺；其所用设备 |
| ----C25D | 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置 |
| ------C25D1/00 | 电铸 |
| --------C25D1/06 | .全金属镜 |