基本信息:
- 专利标题： SILICON DEPOSITION REACTOR WITH BOTTOM SEAL ARRANGEMENT
- 专利标题（中）：硅沉积反应器与底部密封安装
- 申请号：PCT/US2015/037782 申请日：2015-06-25
- 公开(公告)号：WO2016108955A1 公开(公告)日：2016-07-07
- 发明人： SPANGLER, Michael, V. , MILLER, Matthew, J. , HANSEN, Jeffrey, A.
- 申请人： REC SILICON INC
- 申请人地址： 3322 Road N NE Moses Lake, WA 98837 US
- 专利权人： REC SILICON INC
- 当前专利权人： REC SILICON INC
- 当前专利权人地址： 3322 Road N NE Moses Lake, WA 98837 US
- 代理机构： POLLEY, Richard, J.
- 优先权： US62/099,057 20141231
- 主分类号： C23C16/24
- IPC分类号： C23C16/24 ; C01B33/035 ; C23C16/442 ; B01J8/18 ; F27B15/06
摘要：
Fluidized bed reactor systems for producing high purity silicon-coated particles are disclosed. A vessel has an outer shell, an insulation layer inwardly of the outer shell, a concentric inner shell inwardly of the outer shell, and a concentric liner that is positioned inwardly of the inner shell and that defines a reactor chamber. The inner shell and liner are sealed together at their bottoms by an O-ring seal arrangement to prevent gas in the reactor chamber from entering a space between the inner shell and the liner. A central inlet nozzle produces a vertical gas plume in the reactor chamber.
摘要（中）：
公开了用于生产高纯度硅涂层颗粒的流化床反应器系统。 容器具有外壳，外壳内部的绝缘层，外壳向内的同心内壳，以及位于内壳内部并且限定反应室的同心衬套。 内壳和内衬在其底部通过O形环密封装置密封在一起，以防止反应器室中的气体进入内壳和衬套之间的空间。 中心入口喷嘴在反应器室中产生垂直气体羽流。