基本信息:
- 专利标题： PRESSURE SENSOR USING PIEZOELECTRIC BENDING RESONATORS
- 专利标题（中）：压电传感器使用压电式弯曲谐振器
- 申请号：PCT/US2015/062012 申请日：2015-11-20
- 公开(公告)号：WO2016081915A1 公开(公告)日：2016-05-26
- 发明人： BAO, Xiaoqi , SHERRIT, Stewart
- 申请人： CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- 申请人地址： 1200 E. California Blvd. Mail Stop 6-32 Pasadena, CA 91125 US
- 专利权人： CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- 当前专利权人： CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY
- 当前专利权人地址： 1200 E. California Blvd. Mail Stop 6-32 Pasadena, CA 91125 US
- 代理机构： SZAKALSKI, Dustin, R.
- 优先权： US62/082,983 20141121
- 主分类号： G01L11/00
- IPC分类号： G01L11/00 ; G01L9/08 ; G01L7/08
摘要：
A pressure sensor including an enclosure and a bending resonator housed in the enclosure. The bending resonator includes a diaphragm connected to the enclosure, a piezoelectric layer on the diaphragm, and an electrode on the piezoelectric layer. The pressure sensor also includes an electrical terminal coupled to the piezoelectric layer and extending out through the enclosure. The electrical terminal applies an input signal to the piezoelectric layer to resonate the bending resonator. A resonance frequency of the bending resonator changes according to a change in an external pressure applied to the pressure sensor and the resonance frequency of the bending resonator corresponds to the external pressure applied to the pressure sensor.
摘要（中）：
压力传感器包括外壳和容纳在外壳中的弯曲谐振器。 弯曲谐振器包括连接到外壳的隔膜，隔膜上的压电层和压电层上的电极。 压力传感器还包括耦合到压电层并延伸穿过外壳的电端子。 电端子将输入信号施加到压电层以使弯曲谐振器谐振。 弯曲谐振器的谐振频率根据施加到压力传感器的外部压力的变化而变化，并且弯曲谐振器的谐振频率对应于施加到压力传感器的外部压力。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01L | 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力 |
| ------G01L11/00 | 用不包括在G01L7/00或G01L9/00组中的方法的流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的计量 |