基本信息:
- 专利标题： METHODS AND APPARATUSES FOR DEUTERIUM RECOVERY
- 专利标题（中）：用于肾上腺恢复的方法和装置
- 申请号：PCT/US2015/040055 申请日：2015-07-10
- 公开(公告)号：WO2016018593A1 公开(公告)日：2016-02-04
- 发明人： RIVERA, Manuel , WU, Biao
- 申请人： POONGSAN CORPORATION , RIVERA, Manuel , WU, Biao
- 申请人地址： Poongsan Building 23, Chungjeong-ro Seodaemun-gu Seoul KR
- 专利权人： POONGSAN CORPORATION,RIVERA, Manuel,WU, Biao
- 当前专利权人： POONGSAN CORPORATION,RIVERA, Manuel,WU, Biao
- 当前专利权人地址： Poongsan Building 23, Chungjeong-ro Seodaemun-gu Seoul KR
- 代理机构： SCHELLER, James C. et al.
- 优先权： US14/448,745 20140731
- 主分类号： H01L21/324
- IPC分类号： H01L21/324
摘要：
Novel methods, systems, and apparatuses for reclaiming annealing gases from a high pressure annealing processing system are disclosed. According to an embodiment, the exhaust gasses from the high pressure annealing processing system are directed into a gas reclaiming system only when a precious gas, e.g., deuterium is used. The annealing gas is the separated from other gasses used in the high pressure annealing processing system and is then pressurized, filtered, and purified prior to transferring the gas to a bulk storage distribution unit. In one embodiment, the reclaimed gas is then again provided to the high pressure annealing processing system to anneal the wafers.
摘要（中）：
公开了用于回收来自高压退火处理系统的退火气体的新方法，系统和装置。 根据实施例，仅当使用贵重气体（例如氘）时，来自高压退火处理系统的废气被引导到气体回收系统中。 退火气体与在高压退火处理系统中使用的其他气体分离，然后在将气体转移到大容量储存分配单元之前进行加压，过滤和纯化。 在一个实施例中，然后将回收的气体再次提供给高压退火处理系统以退火晶片。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |
| ------------H01L21/18 | ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料 |
| --------------H01L21/26 | ....用波或粒子辐射轰击的 |
| ----------------H01L21/324 | .....用于改善半导体材料性能的热处理，例如退火、烧结 |