基本信息:
- 专利标题： ACTUATOR MODULE FOR ACTUATING A LOAD
- 专利标题（中）：用于执行负载的执行器模块
- 申请号：PCT/NL2015/050206 申请日：2015-03-31
- 公开(公告)号：WO2015152716A1 公开(公告)日：2015-10-08
- 发明人： WITVOET, Gerrit , VAN DEN DOOL, Teunis Cornelis , CROWCOMBE, William Edward , DE LANGE, Theodorus Jacobus , PEREBOOM, Hajo Pieter
- 申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
- 申请人地址： Anna van Buerenplein 1 NL-2595 DA 's-Gravenhage NL
- 专利权人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
- 当前专利权人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
- 当前专利权人地址： Anna van Buerenplein 1 NL-2595 DA 's-Gravenhage NL
- 代理机构： JANSEN, C.M et al.
- 优先权： EP14163625.8 20140404
- 主分类号： G01Q10/04
- IPC分类号： G01Q10/04 ; G01Q30/04 ; H01L41/053 ; H02N2/02
摘要：
The disclosure concerns an actuator module (10) for actuating a load (14). The actuator module (10) comprises a deformable frame (1) and an actuator (2) connected to the deformable frame (1). A time-varying force distribution (F) couples to an excited state (V0) of an eigenmode (V) of the deformable frame (1). The force distribution (F), as well as a stiffness distribution (K) and/or mass distribution (M) of the deformable frame 1 are adapted such that static nodal points (11s) of the deformable frame 1 are coincided with mode nodal points (11m). The locations where the nodal points coincide can be used to connect the actuator module (10) to a base frame to reduce transfer of vibrations to the base frame and back which may otherwise undesirably influence the transfer function from actuator to load. The disclosure further concerns a method for designing and/or manufacturing the actuator module.
摘要（中）：
本公开涉及用于致动负载（14）的致动器模块（10）。 致动器模块（10）包括可变形框架（1）和连接到可变形框架（1）的致动器（2）。 时变力分布（F）耦合到可变形框架（1）的本征模（V）的激发态（V0）。 可变形框架1的力分布（F）以及刚度分布（K）和/或质量分布（M）适于使得可变形框架1的静态节点（11s）与模式节点 （11米）。 节点重合的位置可以用于将致动器模块（10）连接到基架，以减少振动传递到基架和背部，否则可能会不利地影响从致动器到负载的传递功能。 本发明还涉及用于设计和/或制造致动器模块的方法。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01Q | 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术 |
| ------G01Q10/00 | 扫描或定位设备，即主动控制探针的运动或位置的设备 |
| --------G01Q10/04 | .细扫描或定位 |