基本信息:
- 专利标题： OPTICAL METROLOGY WITH MULTIPLE ANGLES OF INCIDENCE AND/OR AZIMUTH ANGLES
- 专利标题（中）：具有多个角度和/或AZIMUTH角度的光学方程
- 申请号：PCT/US2014/064687 申请日：2014-11-07
- 公开(公告)号：WO2015084543A1 公开(公告)日：2015-06-11
- 发明人： LIU, Zhuan , LI, Shifang
- 申请人： NANOMETRICS INCORPORATED
- 申请人地址： 1550 Buckeye Drive Milpitas, California 95035 US
- 专利权人： NANOMETRICS INCORPORATED
- 当前专利权人： NANOMETRICS INCORPORATED
- 当前专利权人地址： 1550 Buckeye Drive Milpitas, California 95035 US
- 代理机构： HALBERT, Michael J.
- 优先权： US14/097,005 20131204
- 主分类号： G01N21/21
- IPC分类号： G01N21/21 ; G01B11/245 ; G03F7/20
摘要：
An optical metrology device simultaneously detects light with multiple angles of incidence (AOI) and/or multiple azimuth angles to determine at least one parameter of a sample. The metrology device focuses light on the sample using an optical system with a large numerical aperture, e.g., 0.2 to 0.9. Multiple channels having multiple AOIs and/or multiple azimuth angles are selected simultaneously by passing light reflected from the sample through a plurality of pupils in a pupil plate. Beamlets produced by the plurality of pupils are detected, e.g., with one or more spectrophotometers, to produce data for the multiple AOIs and/or multiple azimuth angles. The data for multiple AOI and/or multiple azimuth angles may then be processed to determine at least one parameter of the sample, such as profile parameters or overlay error.
摘要（中）：
光学测量装置同时检测具有多个入射角（AOI）和/或多个方位角的光，以确定样品的至少一个参数。 测量设备使用具有大数值孔径的光学系统（例如0.2至0.9）将光照射在样品上。 通过使从样品反射的光通过瞳孔板中的多个瞳孔同时选择具有多个AOI和/或多个方位角的多个通道。 通过一个或多个分光光度计来检测由多个瞳孔产生的束以产生多个AOI和/或多个方位角的数据。 然后可以处理多个AOI和/或多个方位角的数据以确定样本的至少一个参数，诸如轮廓参数或覆盖误差。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/21 | ..影响偏振的性质 |