发明申请
WO2015071567A1 PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF PYROELECTRIQUE ET/OU PIEZOELECTRIQUE
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF PYROELECTRIQUE ET/OU PIEZOELECTRIQUE
- 专利标题（英）：Process for manufacturing a pyroelectric and/or piezoelectric device
- 专利标题（中）：制造微电子和/或压电器件的方法
- 申请号：PCT/FR2014/052725 申请日：2014-10-27
- 公开(公告)号：WO2015071567A1 公开(公告)日：2015-05-21
- 发明人： ALIANE, Abdelkader
- 申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- 申请人地址： Bâtiment Le Ponant D - 25, Rue Leblanc F-75015 Paris FR
- 专利权人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- 当前专利权人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- 当前专利权人地址： Bâtiment Le Ponant D - 25, Rue Leblanc F-75015 Paris FR
- 代理机构： CABINET BEAUMONT
- 优先权： FR1361162 20131115
- 主分类号： H01L37/02
- IPC分类号： H01L37/02 ; H01L41/317 ; H01L41/45
摘要：
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif piézoélectrique et/ou pyroélectrique comprenant un film (16) du polyfluorure de vinylidène, le procédé comprenant un étape de formation d'au moins une portion (14) d'une couche d'une solution comprenant un solvant et un composé comprenant du polyfluorure de vinylidène et une étape d'irradiation de la portion avec des impulsions d'au moins un rayonnement ultraviolet (18). L'étape d'irradiation permet la formation d'au moins deux phases cristallines β ayant des orientations différentes.
摘要（中）：
本发明涉及一种用于制造包括聚偏二氟乙烯膜（16）的压电和/或热电装置的方法，该方法包括形成至少一部分（14）的包含溶剂和化合物的溶液层的步骤 包括聚偏二氟乙烯和用至少一种紫外线辐射（18）的脉冲照射该部分的步骤。 照射步骤能够形成具有不同取向的至少两个β晶相。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L37/00 | 不具有不同材料结点的热电器件；热磁器件，例如应用Nernst-Ettinghausen效应的；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L37/02 | .利用介电常数的热变化的，例如在居里点以上或以下工作的 |