基本信息:
- 专利标题： 研磨パッド及びその製造方法
- 专利标题（英）：Polishing pad and method for manufacturing same
- 专利标题（中）：抛光垫及其制造方法
- 申请号：PCT/JP2014/073896 申请日：2014-09-10
- 公开(公告)号：WO2015037606A1 公开(公告)日：2015-03-19
- 发明人： 宮坂 博仁 , 立野 哲平 , 喜樂 香枝 , 松岡 立馬
- 申请人： 富士紡ホールディングス株式会社
- 申请人地址： 〒1030013 東京都中央区日本橋人形町1丁目18番12号 Tokyo JP
- 专利权人： 富士紡ホールディングス株式会社
- 当前专利权人： 富士紡ホールディングス株式会社
- 当前专利权人地址： 〒1030013 東京都中央区日本橋人形町１丁目１８番１２号 Tokyo JP
- 代理机构： 稲葉 良幸
- 优先权： JP2013-188402 20130911
- 主分类号： B24B37/11
- IPC分类号： B24B37/11 ; B24B37/24 ; C08G18/80 ; C08J5/14 ; H01L21/304
摘要：
樹脂からなるシートを備える研磨パッドであって、所定の研磨試験を経た後の前記シートの研磨面が、－２．００以上、－０．２０以下の粗さ曲線のスキューネスＲｓｋを有し、かつ、０．５％以上、２．５％以下の高さ分布変動係数を有する、研磨パッド。
摘要（中）：
一种设有塑料片的抛光垫，其特征在于，在规定的研磨试验后，片材的研磨面的粗糙度曲线偏度（Rsk）为-2.00〜-0.20，高度分布变化系数为0.5〜2.5％。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B24 | 磨削；抛光 |
| ----B24B | 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 |
| ------B24B37/00 | 研磨机床或装置，即需要在相对软但仍为刚性的研具和被研磨表面之间加入粉末状磨料；及其附件 |
| --------B24B37/11 | .研具 |