基本信息:
- 专利标题： イオン源およびイオンミリング装置
- 专利标题（英）：Ion source and ion milling apparatus
- 专利标题（中）：离子源和离子磨机
- 申请号：PCT/JP2014/060102 申请日：2014-04-07
- 公开(公告)号：WO2014196262A1 公开(公告)日：2014-12-11
- 发明人： 浅井 健吾 , 志知 広康 , 大嶋 卓 , 武藤 宏史 , 岩谷 徹
- 申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 申请人地址： 〒1058717 東京都港区西新橋一丁目24番14号 Tokyo JP
- 专利权人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 当前专利权人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 当前专利权人地址： 〒1058717 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo JP
- 代理机构： 筒井 大和
- 优先权： JP2013-118326 20130604
- 主分类号： H01J27/04
- IPC分类号： H01J27/04 ; H01J37/08 ; H01J37/30
摘要：
イオンガン（ＩＧ）は、イオン化室（ＩＣ）と、イオン化室（ＩＣ）でイオンを生成するイオン生成部（ＧＰ）とを有する。イオン生成部（ＧＰ）は、アノード（１３）、カソード（１１）、ガス供給機構（１０）および永久磁石（１４）を含む。イオン生成部（ＧＰ）は、カソード（１１）により放出された電子を、永久磁石（１４）が発生した磁場により旋回させて、ガス供給機構（１０）により供給されたガスに衝突させることで、イオン化室（ＩＣ）でイオンを生成する。そして、カソード（１１）の表面のうちイオン化室（ＩＣ）に面した領域（４０）に、凹凸（ＩＲ）が形成されている。
摘要（中）：
离子枪（IG）具有用于在电离室（IC）中产生离子的电离室（IC）和离子产生单元（GP）。 离子产生单元（GP）包括阳极（13），阴极（11），气体供给机构（10）和永磁体（14）。 离子产生单元（GP）使得由阴极（11）发射的电子由于永磁体（14）产生的磁场而旋转，并与气体供给机构（10）供给的气体碰撞，从而产生 电离室中的离子。 然后在与电离室（IC）相对的阴极（11）的表面上的区域（40）中形成不规则性（IR）。