基本信息:
- 专利标题： METHOD OF REDUCING THE THICKNESS OF A TARGET SAMPLE
- 专利标题（中）：降低目标样品厚度的方法
- 申请号：PCT/GB2014/051441 申请日：2014-05-12
- 公开(公告)号：WO2014181132A1 公开(公告)日：2014-11-13
- 发明人： LANG, Christian , STATHAM, Peter , HARTFIELD, Cheryl
- 申请人： OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LIMITED
- 申请人地址： Tubney Woods Abingdon Oxon OX13 5QX GB
- 专利权人： OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LIMITED
- 当前专利权人： OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LIMITED
- 当前专利权人地址： Tubney Woods Abingdon Oxon OX13 5QX GB
- 代理机构： GILL JENNINGS & EVERY LLP
- 优先权： GB1308436.3 20130510
- 主分类号： H01J37/304
- IPC分类号： H01J37/304 ; H01J37/305
摘要：
A method is provided of reducing the thickness of a region of a target sample. Reference data is obtained that is representative of x-rays generated by a particle beam being directed upon part of a reference sample under a first set of beam conditions. Under a second set of beam conditions the particle beam is directed upon the region of the target sample. The resultant x-rays are monitored as monitored data. Output data are then calculated based upon the reference and the monitored data. Material is then removed from the region, so as to reduce its thickness, in accordance with the output data.
摘要（中）：
提供了减少目标样品的区域的厚度的方法。 获得参考数据，其代表由在第一组光束条件下被引导到参考样本的一部分的粒子束产生的x射线。 在第二组光束条件下，粒子束被引导到目标样品的区域。 作为监测数据监测所得X射线。 然后根据参考和监视数据计算输出数据。 然后根据输出数据从该区域移除材料，以便减小其厚度。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/304 | ..由来自物体的信息控制电子管的，如校正信号 |