基本信息:
- 专利标题： スケジュール作成装置、基板処理装置、スケジュール作成プログラム、スケジュール作成方法、および基板処理方法
- 专利标题（英）：Schedule preparation device, substrate processing device, schedule preparation program, schedule preparation method, and substrate processing method
- 专利标题（中）：附表制备装置，基板处理装置，附表制备程序，附表制备方法和基板处理方法
- 申请号：PCT/JP2013/070129 申请日：2013-07-25
- 公开(公告)号：WO2014045709A1 公开(公告)日：2014-03-27
- 发明人： 平藤 裕司
- 申请人： 大日本スクリーン製造株式会社
- 申请人地址： 〒6028585 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1ー1 Kyoto JP
- 专利权人： 大日本スクリーン製造株式会社
- 当前专利权人： 大日本スクリーン製造株式会社
- 当前专利权人地址： 〒6028585 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神北町１ー１ Kyoto JP
- 代理机构： 吉竹 英俊
- 优先权： JP2012-208333 20120921; JP2013-051510 20130314
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; G05B19/418 ; H01L21/677
摘要：
複数枚の基板を搬送する際のスケジュール作成において、時間効率の良いスケジュールを作成できる技術を提供する。この発明のスケジュール作成装置は、複数枚の基板を処理部で処理して搬送する際のスケジュール作成において、順次搬出フローよりも一括搬出フローの方が早く搬送を完了させることができるか否かを判断して、その判断結果に応じてこれらを選択的に採用する。このうち順次搬出フローは、搬搬送処理を開始できる時刻が早い順に各基板を所定の搬送先まで搬送するフローであり、一括搬出フローは、搬送処理を開始できる基板についても後続基板の搬送処理が開始できる時刻までは搬送せずに、後続基板の搬送処理が開始できる時刻になった際に複数枚の基板を併せて搬送先まで搬送するフローである。
摘要（中）：
提供了一种在制备用于多个基板的输送计划时能够制备时间有序的方案的技术。 根据本发明的进度准备装置在处理和输送处理单元中的多个基板时，确定集合输送流程是否能够在制备时间表的顺序输送流程时完成输送，并且选择性地 根据确定结果采用这些类型的运输工具。 在这些类型的运输工具中，顺序输送流程将可以开始输送处理的每个基板顺序地传送到规定的输送目的地，而集体输送流程将待准备运送的基板的输送暂停到下一个基板变成 准备输送，并且当可以开始用于随后的基板的输送处理时，将多个基板一起输送到输送目的地。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |