基本信息:
- 专利标题: 세리아 함유 폐연마재의 재생 방법
- 专利标题(英):Method for regenerating spent ceria-containing polishing agent
- 专利标题(中):用于再生含有含有抛光剂的方法
- 申请号:PCT/KR2013/008222 申请日:2013-09-11
- 公开(公告)号:WO2014042431A1 公开(公告)日:2014-03-20
- 发明人: 곽익순 , 조승범 , 노준석 , 김종필
- 申请人: 주식회사 엘지화학
- 申请人地址: 150-721 서울시 영등포구 여의대로 128, Seoul KR
- 专利权人: 주식회사 엘지화학
- 当前专利权人: 주식회사 엘지화학
- 当前专利权人地址: 150-721 서울시 영등포구 여의대로 128, Seoul KR
- 代理机构: 유미특허법인
- 优先权: KR10-2012-0102369 20120914; KR10-2013-0108820 20130911
- 主分类号: B24B57/00
- IPC分类号: B24B57/00 ; B24C11/00
摘要:
본 발명은 세리아 함유 폐연마재에 포함된 불순물을 효과적으로 제거하면서, 세척 공정을 포함한 재생 공정을 효율화할 수 있으며, 세척 공정 중의 세리아 함유 연마재의 재응집을 억제할 수 있는 세리아 함유 폐연마재의 재생 방법에 관한 것이다. 상기 세리아 함유 폐연마재의 재생 방법은 세리아(CeO 2 ) 함유 폐슬러지와, 불소계 화합물을 포함하는 용해제 용액을 혼합하여, 상기 폐슬러지에 포함된 실리카(SiO 2 ) 함유 불순물을 선택적으로 용해시키는 단계; 상기 세리아 함유 폐슬러지를 십자류 여과 시스템(Cross-flow fliltration system)에 통과시키면서 세정하여 상기 실리카(SiO2) 함유 불순물을 선택적으로 제거하는 단계; 및 상기 세정된 세리아 함유 폐슬러지를 건조 및 소성하는 단계를 포함한다.
摘要(中):
本发明涉及一种再生废二氧化铈抛光剂的方法,该方法允许再生过程包括清洗工艺,以有效地抑制在清洗过程中含二氧化铈的抛光剂的再凝结,同时有效地 废弃含有二氧化铈的抛光剂中所含的杂质。 用于再生废二氧化铈抛光剂的方法包括以下步骤:将废二氧化铈(CeO 2)的污泥和含氟化合物的溶剂混合,并且选择性地溶解在废污泥中所含的含二氧化硅(SiO 2)的杂质; 通过使废二氧化铈含有污泥通过交叉流过滤系统并选择性地丢弃含二氧化硅(SiO 2)的杂质; 并干燥和烧结经清洁的废二氧化铈污泥。
IPC结构图谱:
B | 作业;运输 |
--B24 | 磨削;抛光 |
----B24B | 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给 |
------B24B57/00 | 磨削抛光或研磨剂的进料,加料,分选或回收设备 |