基本信息:
- 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR MASSIVELY PARALLEL MULTI-WAFER TEST
- 专利标题（中）：用于大规模并行多波长测试的方法和装置
- 申请号：PCT/US2013/059048 申请日：2013-09-10
- 公开(公告)号：WO2014040071A1 公开(公告)日：2014-03-13
- 发明人： ANDBERG, John, W. , LEVENTHAL, Ira, H. , LOSEY, Matthew, W. , DESTA, Yohannes , NAMBURI, Lakshmikanth , LOPOPOLO, Vince , GROVER, Sanjeev , VOLKERINK, Erik
- 申请人： ADVANTEST CORPORATION , ANDBERG, John, W. , LEVENTHAL, Ira, H. , LOSEY, Matthew, W. , DESTA, Yohannes , NAMBURI, Lakshmikanth , LOPOPOLO, Vince , GROVER, Sanjeev , VOLKERINK, Erik
- 申请人地址： 1-32-1 Asahi-cho Nerima-ku Tokyo 179-0071 JP
- 专利权人： ADVANTEST CORPORATION,ANDBERG, John, W.,LEVENTHAL, Ira, H.,LOSEY, Matthew, W.,DESTA, Yohannes,NAMBURI, Lakshmikanth,LOPOPOLO, Vince,GROVER, Sanjeev,VOLKERINK, Erik
- 当前专利权人： ADVANTEST CORPORATION,ANDBERG, John, W.,LEVENTHAL, Ira, H.,LOSEY, Matthew, W.,DESTA, Yohannes,NAMBURI, Lakshmikanth,LOPOPOLO, Vince,GROVER, Sanjeev,VOLKERINK, Erik
- 当前专利权人地址： 1-32-1 Asahi-cho Nerima-ku Tokyo 179-0071 JP
- 代理机构： GASH, Eric
- 优先权： US13/609,154 20120910
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66
摘要：
Disclosed herein is a cost effective, efficient, massively parallel multi-wafer test cell. Additionally, this test cell can be used for both single-touchdown and multiple - touchdown applications. The invention uses a novel "split-cartridge" design, combined with a method for aligning wafers when they are separated from the probe card assembly, to create a cost effective, efficient multi-wafer test cell. A "probe-card stops" design may be used within the cartridge to simplify the overall cartridge design and operation.
摘要（中）：
本文公开了一种成本有效，高效，大规模并行的多晶圆测试电池。 此外，该测试单元可用于单触地板和多触地应用。 本发明使用新颖的“分离式墨盒”设计，结合将晶片与探针卡组件分离时对准的方法，以创建成本有效的，高效的多晶圆测试单元。 可以在墨盒内使用“探针卡停止”设计，以简化总体墨盒的设计和操作。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/66 | .在制造或处理过程中的测试或测量 |