基本信息:
- 专利标题： 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템
- 专利标题（英）：Substrate processing system having function for preventing damage
- 专利标题（中）：具有防止损坏功能的基板处理系统
- 申请号：PCT/KR2012/004933 申请日：2012-06-22
- 公开(公告)号：WO2013187547A1 公开(公告)日：2013-12-19
- 发明人： 박상현 , 이동현 , 오현필 , 전광진 , 권진환 , 박성진
- 申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 박상현 , 이동현 , 오현필 , 전광진 , 권진환 , 박성진
- 申请人地址： 152-818 서울특별시 관악구 봉천로 576 (봉천동), Seoul KR
- 专利权人： 에스엔유 프리시젼 주식회사,박상현,이동현,오현필,전광진,권진환,박성진
- 当前专利权人： 에스엔유 프리시젼 주식회사,박상현,이동현,오현필,전광진,권진환,박성진
- 当前专利权人地址： 152-818 서울특별시 관악구 봉천로 576 (봉천동), Seoul KR
- 代理机构： 조영현
- 优先权： KR10-2012-0063954 20120614
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L31/042
摘要：
본 발명은 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 파손방지 기능을 구비한 유체탱크는 유체를 저장할 수 있는 유체탱크; 상기 유체탱크로부터 유체를 공급받아 기판이 처리되는 공간을 제공하는 챔버; 상기 유체가 유동 가능하도록 상기 유체탱크와 상기 챔버를 상호 연결하는 파이프; 상기 파이프에서 상기 유체가 유동함에 따라 열을 공급받아 발생하는 열팽창에 대응하여 상기 유체탱크의 위치변경이 가능하도록 하는 파손방지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 유체탱크가 파이프의 열팽창에 따른 부피변화에 대응하여 유체탱크의 파손을 방지할 수 있는 파손방지 기능을 구비한 기판처리 시스템이 제공된다.
摘要（中）：
本发明涉及具有防止损坏的功能的基板处理系统。 根据本发明的具有防止损坏功能的基板处理系统包括：用于储存流体的流体箱; 从流体箱供给流体并提供衬底被处理的空间的腔室; 将流体箱和室彼此连接以使得流体能够流过其中的管; 以及能够响应于由于管道中的流体的运动而由供热产生的热膨胀而改变流体箱的位置的损坏防止单元。 因此，提供了具有防止损坏的功能的基板处理系统，其能够防止对应于由管道的热膨胀引起的体积变化的对流体箱的损坏。