基本信息:
- 专利标题： 感光性樹脂組成物、感光性フィルム、永久レジスト及び永久レジストの製造方法
- 专利标题（英）：Photosensitive resin composition, photosensitive film, permanent resist and method for producing permanent resist
- 专利标题（中）：感光树脂组合物，感光膜，永久耐蚀材料和生产永久耐蚀材料的方法
- 申请号：PCT/JP2012/070369 申请日：2012-08-09
- 公开(公告)号：WO2013022068A1 公开(公告)日：2013-02-14
- 发明人： 名越 俊昌 , 田中 恵生
- 申请人： 日立化成工業株式会社 , 名越 俊昌 , 田中 恵生
- 申请人地址： 〒1630449 東京都新宿区西新宿二丁目1番1号 Tokyo JP
- 专利权人： 日立化成工業株式会社,名越 俊昌,田中 恵生
- 当前专利权人： 日立化成工業株式会社,名越 俊昌,田中 恵生
- 当前专利权人地址： 〒1630449 東京都新宿区西新宿二丁目１番１号 Tokyo JP
- 代理机构： 長谷川 芳樹
- 优先权： JP2011-174885 20110810; JP2011-214755 20110929
- 主分类号： G03F7/027
- IPC分类号： G03F7/027 ; C08G59/68 ; C08K3/36 ; C08L63/00 ; G03F7/004 ; H05K3/28
摘要：
本発明は、（ａ）成分：酸変性エポキシ樹脂、（ｂ）成分：エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、（ｃ）成分：光重合開始剤、（ｄ）成分：エポキシ樹脂、及び（ｅ）成分：無機フィラーを含有する感光性樹脂組成物であって、前記（ａ）成分が、酸変性ビスフェノールノボラック型エポキシ樹脂を含有し、更に所定の条件を満たす感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム、永久レジスト及び永久レジストの製造方法を提供する。
摘要（中）：
本发明提供一种感光性树脂组合物，使用该感光性树脂组合物的感光性膜，永久性抗蚀剂及其制造方法。 感光性树脂组合物含有作为酸改性环氧树脂的成分（a），具有烯键式不饱和基团的光聚合性单体的成分（b），作为光聚合引发剂的成分（c）， 作为环氧树脂的组分（d）和作为无机填料的组分（e）。 组分（a）含有酸改性的双酚型酚醛清漆型环氧树脂，并满足规定条件。