基本信息:
- 专利标题： MEMS DEVICES SENSING BOTH ROTATION AND ACCELERATION
- 专利标题（中）：MEMS器件感测双向旋转和加速
- 申请号：PCT/US2011/037551 申请日：2011-05-23
- 公开(公告)号：WO2012161690A1 公开(公告)日：2012-11-29
- 发明人： ZHOU, Bo , LUO, Hao
- 申请人： Senodia Technologies (shanghai) Co., Ltd. , ZHOU, Bo , LUO, Hao
- 申请人地址： Suite 307, No. 88 Chenhui Rd Building I, Zhangjiang Hi-Tech Park Shanghai, P.R.C. 201203 CN
- 专利权人： Senodia Technologies (shanghai) Co., Ltd.,ZHOU, Bo,LUO, Hao
- 当前专利权人： Senodia Technologies (shanghai) Co., Ltd.,ZHOU, Bo,LUO, Hao
- 当前专利权人地址： Suite 307, No. 88 Chenhui Rd Building I, Zhangjiang Hi-Tech Park Shanghai, P.R.C. 201203 CN
- 代理机构： BECK, George, C. et al.
- 主分类号： G01P15/125
- IPC分类号： G01P15/125
摘要：
A MEMS device comprises a proof mass suspended above a substrate, one or more driving combs, and one or more sensing combs. During operation, a DC actuating potential in series with an AC modulation potential is applied to the proof mass, and an AC actuating potential is applied to the one or more driving combs such that the proof mass moves in an oscillatory manner. An inertial sensing system further comprises a sensing element configured to detect a rotation information coupled with an AC signal and an acceleration information coupled with a DC signal.
摘要（中）：
MEMS器件包括悬浮在衬底上的校准块，一个或多个驱动梳和一个或多个感测梳。 在操作期间，将与AC调制电位串联的DC致动电位施加到检测质量块，并且将AC致动电位施加到一个或多个驱动梳，使得校准质量块以振荡方式移动。 惯性感测系统还包括感测元件，其被配置为检测与AC信号耦合的旋转信息和与DC信号耦合的加速度信息。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01P | 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在、不存在或方向的指示 |
| ------G01P15/00 | 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 |
| --------G01P15/02 | .利用惯性力 |
| ----------G01P15/04 | ..用于指示最大值 |
| ------------G01P15/125 | ...应用电容变送器 |