基本信息:
- 专利标题： METHOD FOR BLANKING A PARTICLE BEAM IN A PARTICLE BEAM COLUMN
- 专利标题（中）：用于抛弃颗粒束柱中的粒子束的方法
- 申请号：PCT/KR2011009218 申请日：2011-11-30
- 公开(公告)号：WO2012074292A3 公开(公告)日：2012-07-26
- 发明人： KIM HO SEOB
- 申请人： CEBT CO LTD , KIM HO SEOB
- 专利权人： CEBT CO LTD,KIM HO SEOB
- 当前专利权人： CEBT CO LTD,KIM HO SEOB
- 优先权： KR20100121005 2010-11-30
- 主分类号： H01J37/147
- IPC分类号： H01J37/147 ; H01J37/12
摘要：
The present invention relates to a method for blanking a particle beam in a particle beam column, and more specifically relates to a method for stopping a particle beam from scanning towards a sample in a particle beam column. In the present invention, beam blanking is effected by applying a blanking voltage to an electrode of an electrostatic electron lens in an existing particle beam column, and the invention can best be used in low-energy ultra-small-scale particle beam columns.
摘要（中）：
本发明涉及一种用于在粒子束柱中消隐粒子束的方法，并且更具体地涉及一种用于阻止粒子束朝向粒子束柱中的样本进行扫描的方法。 在本发明中，通过在现有的粒子束柱中对静电电子透镜的电极施加消隐电压来进行电子束消隐，并且本发明可以最好地用于低能量超小型粒子束柱。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 |
| ------------H01J37/147 | ...沿所需路径导引或偏转电子流的装置 |