基本信息:
- 专利标题： GASSCHLEUSE SOWIE BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG MIT EINER GASSCHLEUSE
- 专利标题（英）：Gas lock, and coating apparatus comprising a gas lock
- 专利标题（中）：气闸和涂覆装置用气体LOCK
- 申请号：PCT/EP2011/005439 申请日：2011-10-27
- 公开(公告)号：WO2012055561A1 公开(公告)日：2012-05-03
- 发明人： POCZA, David , REBER, Stefan , ARNOLD, Martin , SCHILLINGER, Norbert
- 申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. . , POCZA, David , REBER, Stefan , ARNOLD, Martin , SCHILLINGER, Norbert
- 申请人地址： Hansastrasse 27c 80686 München DE
- 专利权人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. .,POCZA, David,REBER, Stefan,ARNOLD, Martin,SCHILLINGER, Norbert
- 当前专利权人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. .,POCZA, David,REBER, Stefan,ARNOLD, Martin,SCHILLINGER, Norbert
- 当前专利权人地址： Hansastrasse 27c 80686 München DE
- 代理机构： RIEPE, Hans
- 优先权： DE10 20101027
- 主分类号： C23C16/52
- IPC分类号： C23C16/52 ; C23C16/54 ; C23C16/455
摘要：
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Gasschleuse zur Trennung zweier Gasräume, die es ermöglicht, mit minimalem räumlichem Aufwand die Trennung von Gasen ohne Berührung mit dem Produkt/Edukt/Transport-System zu erreichen. Die erfindungsgemäße Gasschleuse zeichnet sich dadurch aus, dass eine Messkammer zur Messung mindestens einer physikalischen und/oder chemischen Eigenschaft integriert ist. Ebenso betrifft die vorliegende Erfindung eine Beschichtungsvorrichtung, die eine erfindungsgemäße Gasschleuse umfasst. Zudem werden Verwendungsmöglichkeiten der erfindungsgemäßen Gasschleuse angegeben.
摘要（中）：
本发明涉及一种气闸，用于分离两个气体室，这使得能够实现以最小的努力，气体不与产物/起始原料/运输系统接触的空间分离。 根据本发明的气闸，其特征在于，用于测量至少一个集成的物理和/或化学特性的测量室。 另外，本发明涉及一种涂敷装置，包括根据本发明的气体锁。 此外，根据被赋予本发明使用的气闸。