发明申请
WO2012013604A1 MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINES EINE ELEKTRISCHE EIGENSCHAFT EINER DÜNNSCHICHT AUF EINEM TRÄGER BESCHREIBENDEN ERSTEN PARAMETER
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： MESSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINES EINE ELEKTRISCHE EIGENSCHAFT EINER DÜNNSCHICHT AUF EINEM TRÄGER BESCHREIBENDEN ERSTEN PARAMETER
- 专利标题（英）：Measuring device and method for determining a first parameter describing an electrical property of a thin film on a substrate
- 专利标题（中）：测量装置和一种用于确定薄膜的性能的电动载描述所述第一参数
- 申请号：PCT/EP2011/062672 申请日：2011-07-22
- 公开(公告)号：WO2012013604A1 公开(公告)日：2012-02-02
- 发明人： TOTZECK, Michael , WEGENDT, Holger , KARTAL, Ersun , WIDULLE, Frank
- 申请人： CARL ZEISS AG , TOTZECK, Michael , WEGENDT, Holger , KARTAL, Ersun , WIDULLE, Frank
- 申请人地址： Carl-Zeiss-Straße 22 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： CARL ZEISS AG,TOTZECK, Michael,WEGENDT, Holger,KARTAL, Ersun,WIDULLE, Frank
- 当前专利权人： CARL ZEISS AG,TOTZECK, Michael,WEGENDT, Holger,KARTAL, Ersun,WIDULLE, Frank
- 当前专利权人地址： Carl-Zeiss-Straße 22 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： LECHNER, Armin
- 优先权： DE10 20100730
- 主分类号： G01N21/55
- IPC分类号： G01N21/55
摘要：
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen eines eine elektrische Eigenschaft einer Dünnschicht (3) auf einem Träger (1) beschreibenden ersten Parameter, wobei die Dünnschicht (3) zumindest bereichsweise über ihre Fläche (4) beleuchtet wird, wobei das Beleuchtungslicht (18) wellenlängespezifisch unter einem derartigen Winkel (ß) auf die Dünnschicht (3) eingestrahlt wird, dass innerhalb der Dünnschicht (3) zumindest eine optische Resonanzbedingung (7) auftritt, und das unter dieser Resonanzbedingung (7) von der Dünnschicht (3) abgestrahlte Licht (21) und ein dadurch erzeugtes Streufeld (21) erfasst und ausgewertet wird, wobei abhängig von Änderungen im Streufeld Änderungen des ersten Parameters erkannt werden. Die Erfindung betrifft auch eine Messvorrichtung (11) zum Bestimmen eines eine elektrische Eigenschaft einer Dünnschicht (3) auf einem Träger beschreibenden Parameter.
摘要（中）：
本发明涉及一种用于在载体上确定的薄膜（3）的电特性（1）描述第一参数，其中所述薄膜（3）至少在在其表面上的区域（4）被照亮时，其特征在于，所述照明光（18）波长特异性 以这样的角度（SS）到膜（3）照射，该至少一个光学谐振条件（7）的薄膜（3）内发生，和从薄层（3）的光该共振条件（7）下照射（21 检测）和所产生的，从而杂散场（21）和评价，响应于在所述第一参数的杂散场的变化而变化所识别。 本发明还涉及一种用于确定的薄膜（3）在载体上的描述性参数的电性能的测量设备（11）。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N21/00 | 利用光学手段，即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
| --------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
| ----------G01N21/55 | ..镜面反射率 |