发明申请
WO2011092131A1 VORRICHTUNG ZUM TRANSPORT VON PLATTENFÖRMIGEN SUBSTRATEN IN EINER ANLAGE ZUR CHEMISCHEN UND/ODER ELEKTROCHEMISCHEN BEHANDLUNG
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： VORRICHTUNG ZUM TRANSPORT VON PLATTENFÖRMIGEN SUBSTRATEN IN EINER ANLAGE ZUR CHEMISCHEN UND/ODER ELEKTROCHEMISCHEN BEHANDLUNG
- 专利标题（英）：Device for transporting plate-shaped substrates in a system for chemical and/or electrochemical treatment
- 专利标题（中）：设备技术的板状衬底在植物化学和/或电化学处理运输
- 申请号：PCT/EP2011/050885 申请日：2011-01-24
- 公开(公告)号：WO2011092131A1 公开(公告)日：2011-08-04
- 发明人： KREITSCHY, Michael , KUNZE, Henry , LUTSCH, Armin
- 申请人： ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH , KREITSCHY, Michael , KUNZE, Henry , LUTSCH, Armin
- 申请人地址： Industriestraße 69 90537 Feucht DE
- 专利权人： ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH,KREITSCHY, Michael,KUNZE, Henry,LUTSCH, Armin
- 当前专利权人： ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH,KREITSCHY, Michael,KUNZE, Henry,LUTSCH, Armin
- 当前专利权人地址： Industriestraße 69 90537 Feucht DE
- 代理机构： BENNINGER, Johannes
- 优先权： DE10 20100126
- 主分类号： C25D7/06
- IPC分类号： C25D7/06 ; C23C18/16 ; B65G49/06
摘要：
Die vorliegende Erfindung offenbart eine Vorrichtung für den Transport von plattenförmigen Substraten (10) in einer Anlage (8) zur chemischen und/oder elektrochemischen Behandlung, insbesondere zur stromlosen Abscheidung von leitfähigen Schichten. Die Vorrichtung umfasst mindestens ein rotierendes Transportelement (14), welches zumindest teilweise aus Mineralglas besteht. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Fördervorrichtung mit einer Mehrzahl jeweils paarweise übereinander angeordneter rotierender Transportelemente (14), zwischen denen jeweils die plattenförmigen Substrate (10) hindurch bewegbar sind.
摘要（中）：
本发明公开了一种用于在用于化学和/或电化学处理的植物（8），输送圆盘状基板（10），特别是用于导电层的无电沉积的装置。 该装置包括至少一个旋转，其由至少部分地由无机玻璃的输送构件（14）。 此外，本发明涉及一种具有叠加的旋转输送元件（14），盘形基板（10）穿过它们之间是可移动的多对输送设备。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C25 | 电解或电泳工艺；其所用设备 |
| ----C25D | 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置 |
| ------C25D7/00 | 以施镀制品为特征的电镀 |
| --------C25D7/06 | .丝；带；箔 |