发明申请
WO2011080362A1 DISPOSITIVO Y PROCEDIMIENTO PARA LA REDUCCIÓN DEL ERROR DE ABBE EN SISTEMAS DE MICROSCOPÍA
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： DISPOSITIVO Y PROCEDIMIENTO PARA LA REDUCCIÓN DEL ERROR DE ABBE EN SISTEMAS DE MICROSCOPÍA
- 专利标题（英）：Device and method for reducing abbe error in microscopy systems
- 专利标题（中）：在微观系统中减少ABBE误差的装置和方法
- 申请号：PCT/ES2009/070645 申请日：2009-12-31
- 公开(公告)号：WO2011080362A1 公开(公告)日：2011-07-07
- 发明人： CALVO, Roberto
- 申请人： FUNDACION TEKNIKER , CALVO, Roberto
- 申请人地址： Avda. Otaola, 20 Eibar E-20600 Guipuzcoa ES
- 专利权人： FUNDACION TEKNIKER,CALVO, Roberto
- 当前专利权人： FUNDACION TEKNIKER,CALVO, Roberto
- 当前专利权人地址： Avda. Otaola, 20 Eibar E-20600 Guipuzcoa ES
- 代理机构： CARPINTERO LOPEZ, Mario
- 主分类号： G01B11/14
- IPC分类号： G01B11/14 ; G01B11/24 ; G01B21/04
摘要：
La invención se refiere a un dispositivo para la corrección del error de Abbe en sistemas interferométricos de metrología de superficies y que comprende medios para medir el desplazamiento de un objetivo (21) respecto a una superficie (25) compuestos por al menos dos sensores (22) de desplazamiento solidarios al objetivo a ambos lados de éste capaces de medir el desplazamiento relativo del objetivo (21) y la muestra (25) en cuatro puntos y medios para calcular el desplazamiento medio a partir de dichas medidas en los cuatro puntos. Gracias al dispositivo es posible corregir el error de Abbe en un sistema de microscopía.
摘要（中）：
本发明涉及一种用于校正干涉测量表面测量系统中的阿贝误差的装置，其包括用于测量透镜（21）相对于表面（25）的运动的装置，该表面包括至少两个连接到 能够测量透镜（21）和样品（25）在四个点处的相对运动的透镜，以及用于使用所述四个点处的所述测量来计算平均移动的装置。 该器件可以在显微镜系统中校正Abbe误差。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/14 | .用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙 |