基本信息:
- 专利标题: 型および型の製造方法ならびに反射防止膜
- 专利标题(英):Mold, method for manufacturing a mold, and antireflective film
- 专利标题(中):模具,制造模具的方法和抗反射膜
- 申请号:PCT/JP2010/069095 申请日:2010-10-27
- 公开(公告)号:WO2011052652A1 公开(公告)日:2011-05-05
- 发明人: 箕浦 潔 , 石動 彰信
- 申请人: シャープ株式会社 , 箕浦 潔 , 石動 彰信
- 申请人地址: 〒5458522 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 Osaka JP
- 专利权人: シャープ株式会社,箕浦 潔,石動 彰信
- 当前专利权人: シャープ株式会社,箕浦 潔,石動 彰信
- 当前专利权人地址: 〒5458522 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 Osaka JP
- 代理机构: 奥田 誠司
- 优先权: JP2009-248301 20091028
- 主分类号: C25D11/04
- IPC分类号: C25D11/04 ; B29C33/38 ; B29C33/42 ; C25D11/24 ; G02B1/10
摘要:
本発明のモスアイ用型の製造方法は、(a)基材上に堆積されており、厚さが0.5μm以上5μm以下であり、結晶粒径の平均値が、200nm以上5μm以下である複数の結晶粒(18a)が表面(18s)に存在するアルミニウム膜(18)を用意する工程と、(b)工程(a)の後に、アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の微細な凹部(14p)を有するポーラスアルミナ層(14)を形成する工程と、(c)工程(b)の後に、ポーラスアルミナ層をエッチング液に接触させることによって、ポーラスアルミナ層の複数の微細な凹部を拡大させる工程とを包含する。本発明によると、アンチグレア構造にモスアイ構造が重畳された反射防止膜を製造するための型を簡単に製造する方法が提供される。
摘要(中):
提供了一种制造蛾眼模具的方法,所述方法包括:(a)沉积在基材上的铝膜(18)具有0.5μm至5μm的厚度的步骤,并且具有 制备其表面(18s)上的多个晶粒(18a),所述晶粒的平均直径在200nm和5μm之间; (b)在铝膜的表面被阳极氧化后的步骤(a)之后的步骤,从而形成具有多个微小凹坑(14p)的多孔氧化铝层(14); 和(c)在多孔氧化铝层与蚀刻液体接触的步骤(b)之后的步骤,从而扩大多孔氧化铝层中的多个微小凹坑。 该方法可以容易地制造用于制造其中蛾眼结构叠加在防眩结构上的抗反射膜的模具。
IPC结构图谱:
C | 化学;冶金 |
--C25 | 电解或电泳工艺;其所用设备 |
----C25D | 覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置 |
------C25D11/00 | 表面反应,即形成转化层的电解覆层 |
--------C25D11/02 | .阳极氧化 |
----------C25D11/04 | ..铝或以其为基之合金的 |