基本信息:
- 专利标题： 着色セラミック真空チャックおよびその製造方法
- 专利标题（英）：Colored ceramic vacuum chuck and manufacturing method thereof
- 专利标题（中）：彩色陶瓷真空泵及其制造方法
- 申请号：PCT/JP2010/052553 申请日：2010-02-19
- 公开(公告)号：WO2010095719A1 公开(公告)日：2010-08-26
- 发明人： 鈴木茂美 , 石見嘉治 , 元矢秀和
- 申请人： 株式会社ソディック , 鈴木茂美 , 石見嘉治 , 元矢秀和
- 申请人地址： 〒2248522 神奈川県横浜市都筑区仲町台3丁目12番1号 Kanagawa JP
- 专利权人： 株式会社ソディック,鈴木茂美,石見嘉治,元矢秀和
- 当前专利权人： 株式会社ソディック,鈴木茂美,石見嘉治,元矢秀和
- 当前专利权人地址： 〒2248522 神奈川県横浜市都筑区仲町台３丁目１２番１号 Kanagawa JP
- 优先权： JP2009-038767 20090223
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; B65G49/06 ; G03F7/20 ; H01L21/027
摘要：
本発明において、載置面に基板を吸着する着色セラミック真空チャック２は、５５～７５重量％以上のアルミナ（Ａｌ 2 Ｏ 3 ）と、酸化物（ＳｉＯ 2 ）に換算して少なくとも３重量％のＳｉと、酸化物（ＣａＯ）に換算して少なくとも０．４重量％のＣａと、酸化物（ＭｇＯ）に換算して少なくとも０．４重量％のＭｇと、着色剤と、１％以下の不純物を含む着色セラミック焼結体から成り、基板を支持する多数のピン４とリム６が砥粒によるショットブラストにより載置面に形成され、球形粒子によるショットピーニングが載置面全体に施される。
摘要（中）：
用于将基材吸附在安装表面上的彩色陶瓷真空吸盘（2）由着色陶瓷烧结体制成，该陶瓷烧结体含有55-75重量％或更多的氧化铝（Al 2 O 3），至少3重量％的Si 氧化物（SiO 2），至少0.4重量％的以氧化物（CaO）计的Ca，至少0.4重量％的Mg项氧化物（MgO），着色剂和1质量％以下的杂质。 通过使用研磨颗粒的喷丸，在安装表面上形成用于支撑基板的许多销（4）和边缘（6），并且使用球形颗粒将喷丸硬化施加到整个安装表面。