基本信息:
- 专利标题: VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG VON OPTISCHEN WEGLÄNGEN
- 专利标题(英):Device and method for determining optical path lengths
- 专利标题(中):装置和方法用于确定光路长度
- 申请号:PCT/EP2009/000327 申请日:2009-01-20
- 公开(公告)号:WO2010083847A1 公开(公告)日:2010-07-29
- 发明人: WEITZEL, Thilo
- 申请人: WEITZEL, Thilo
- 申请人地址: Halen 71 CH-3037 Herrenschwanden CH
- 专利权人: WEITZEL, Thilo
- 当前专利权人: WEITZEL, Thilo
- 当前专利权人地址: Halen 71 CH-3037 Herrenschwanden CH
- 代理机构: HERRMANN, Uwe et al.
- 主分类号: G01N21/47
- IPC分类号: G01N21/47 ; G01B9/02
摘要:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung von optischen Weglängendifferenzen bzw. zur optischen Kohärenz Tomograhie mit den Schritten: Erzeugung von räumlich kohärentem Licht durch eine Lichtquelle (SQ, BQ), welche einen räumlichen Monomode abstrahlt oder deren Abstrahlung durch geeignete Mittel (F) auf einen einzelnen räumlichen Mode beschränkt wird, Aufteilung zumindest eines Teils des von der genannten Lichtquelle kommenden Lichtes in zwei räumlich getrennte Pfade, Platzierung einer zu vermessenden Probe (P) im Messpfad, Verwendung von wenigstens zwei Detektoren (D) bzw. von einem Detektor (D, A) mit mindestens zwei Detektorelementen (D) und weitere Mittel (S, T, BP, F, Q, L, G, Z) zur Strahlführung, welche Licht aus einem Referenzpfad und einem Messpfad an den Detektoren/Detektorelementen (D) zusammenführen und zur Interferenz bringen, Aufnahme und Auswertung der Lichtintensitäten an den Detektoren/Detektorelementen (D) um einen Datensatz zu erhalten und numerische Auswertung und Darstellung des Datensatzes derart, dass Rückschlüsse auf sowohl räumliche Position als auch Stärke der Reflektion bzw. Streuung der Probe (P) bzw. der Strukturen im inneren der Probe (P) möglich werden.
摘要(中):
本发明涉及一种用于光路长度或光学相干Tomograhie的包括的步骤的测定方法:由光源(SQ,BQ),其辐射的空间单模或通过合适的手段自己产生辐射的空间相干光(F) 限于单个空间模式,分配从发出的光的至少一部分所述光源光转换成两个空间分离的路径,将样品放置到使用至少两个检测器(D)或(由探测器D来测量(P)在测量路径, ,一个)合并(具有至少两个探测器元件D),和另外的装置(S,T,BP,F,Q,L,G,Z)用于引导光束,参考路径的光,并在检测器/检测器元件(测量路径D) 并带来干扰,录制并在检测器/探测器元件分析的光强度(D)以接收数据组 n和数值分析和数据以这样的方式即关于样品(P)的反射或散射的两个空间位置和强度,或在样品(P)的内部结构的结论是可能的设定的呈现。
IPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
------G01N21/00 | 利用光学手段,即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
--------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
----------G01N21/47 | ..散射,即漫反射 |