基本信息:
- 专利标题： 移動体の駆動制御方法、露光方法、ロボット制御方法、駆動制御装置、露光装置、及び、ロボット装置
- 专利标题（英）：Moving body drive control method, exposure method, robot control method, drive control device, exposure device, and robot device
- 专利标题（中）：移动体驱动控制方法，曝光方法，机器人控制方法，驱动控制装置，曝光装置和机器人装置
- 申请号：PCT/JP2009/006079 申请日：2009-11-13
- 公开(公告)号：WO2010055673A1 公开(公告)日：2010-05-20
- 发明人： 佐伯和明
- 申请人： 株式会社ニコン , 佐伯和明
- 申请人地址： 〒1008331 東京都千代田区丸の内3丁目2番3号 Tokyo JP
- 专利权人： 株式会社ニコン,佐伯和明
- 当前专利权人： 株式会社ニコン,佐伯和明
- 当前专利权人地址： 〒1008331 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 Tokyo JP
- 代理机构： 志賀正武
- 优先权： US61/193,285 20081113; US12/591,214 20091112
- 主分类号： H01L21/027
- IPC分类号： H01L21/027 ; B25J13/00 ; G03F7/20 ; H01L21/68
摘要：
駆動制御装置は、制御対象（３０１）の伝達特性の逆システムの一部を示す第１伝達関数（１０２１ａ）に第１の完全追従制御法を適用させることで第１のフィードフォワード信号（Ｓ１ａ）を求める第１フィードフォワード制御部（１０２ａ）と、制御対象（３０１）の伝達特性の逆システムの一部を示すとともに第１伝達関数（１０２１ａ）とは異なる第２伝達関数（１０２１ｂ）に第２の完全追従制御法を適用させて第２のフィードフォワード信号（Ｓ１ｂ）を求める第２フィードフォワード制御部（１０２ｂ）と、第１のフィードフォワード信号（Ｓ１ａ）に対する第１の補償信号（ｄ’）を求める外乱オブザーバ（１０４）と、を備え、第２のフィードフォワード信号（Ｓ１ｂ）と第１の補償信号（ｄ’）とから求めた第２の補償信号（Ｓ５）を用いて制御対象（３０１）を駆動する。
摘要（中）：
驱动控制装置配备有通过对表示传输的逆系统的一部分的第一传输功能（1021a）应用第一完美跟踪控制方法来找到第一前馈信号（S1a）的第一前馈控制单元（102a） 要控制的目标的特征（301）;第二前馈控制单元（102b），通过对第二传输函数（1021b）应用第二完善跟踪控制方法来寻找第二前馈信号（S1b） 要控制的目标（301）的传输特性与第一传输功能（1021a）不同的逆系统;以及干扰观测器（104），其找到第一前馈信号的第一补偿信号（d'） （S1A）。 使用从第二前馈信号（S1b）和第一补偿信号（d'）找到的第二补偿信号（S5）来驱动要控制的目标（301）。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |