基本信息:
- 专利标题： CHARGED PARTICLE DETECTION SYSTEM AND METHOD
- 专利标题（中）：充电颗粒检测系统和方法
- 申请号：PCT/IL2009/000534 申请日：2009-05-31
- 公开(公告)号：WO2009144727A2 公开(公告)日：2009-12-03
- 发明人： SHOFMAN, Semyon , CHEIFETZ, Eli , SCHON, Armin , PINHASI, Eitan
- 申请人： EL-MUL TECHNOLOGIES, LTD. , SHOFMAN, Semyon , CHEIFETZ, Eli , SCHON, Armin , PINHASI, Eitan
- 申请人地址： Soreq P.O. Box 571 81104 Yavne IL
- 专利权人： EL-MUL TECHNOLOGIES, LTD.,SHOFMAN, Semyon,CHEIFETZ, Eli,SCHON, Armin,PINHASI, Eitan
- 当前专利权人： EL-MUL TECHNOLOGIES, LTD.,SHOFMAN, Semyon,CHEIFETZ, Eli,SCHON, Armin,PINHASI, Eitan
- 当前专利权人地址： Soreq P.O. Box 571 81104 Yavne IL
- 优先权： US12/155,233 20080530
- 主分类号： H01J3/14
- IPC分类号： H01J3/14
摘要：
A charged particle detection device comprising an electric field generator configured and operable to create an electric field defining trajectories for charged particles of different types emitted from a sample as a result of the sample interaction with a particle beam, the emitted charged particles of different types being one of the following: electrons, positive ions and negative ions, an ion-to-electron converter having a conversion surface including a continuous interaction region oriented so as to intersect the trajectories of the charged particles of different types propagating from the sample, the conversion surface operative to emit electrons in response to the surface interaction with the charged particles of the different types, and an electron detector configured and operable to receive electrons from the converter and generate output data indicative thereof.
摘要（中）：
一种带电粒子检测装置，其包括电场发生器，其被配置并可操作以产生电场，该电场定义了作为样品与粒子束相互作用的结果从样品发射的不同类型的带电粒子的轨迹，不同类型的发射带电粒子 以下之一：电子，正离子和负离子，具有转换表面的离子到电子转换器，转换表面包括定向为与从样品传播的不同类型的带电粒子的轨迹相交的连续相互作用区域，转换 表面响应于与不同类型的带电粒子的表面相互作用而发射电子，以及电子检测器，其配置和操作以从转换器接收电子并产生指示其的输出数据。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J3/00 | 通用于两种或两种以上基本类型的放电管或灯的电子光学或离子光学装置的零部件或离子阱的零部件 |
| --------H01J3/14 | .射线或射束的聚焦或反射装置 |