基本信息:
- 专利标题： PROCESS OF MAKING A MICROTUBE AND MICROFLUIDIC DEVICES FORMED THEREWITH
- 专利标题（中）：制造微波和微流控器件的方法
- 申请号：PCT/US2009/035902 申请日：2009-03-03
- 公开(公告)号：WO2009111487A1 公开(公告)日：2009-09-11
- 发明人： SPARKS, Douglas Ray , NAJAFI, Nader
- 申请人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC. , SPARKS, Douglas Ray , NAJAFI, Nader
- 申请人地址： 391 Airport Industrial Drive Ypsilanti, Michigan 48198 US
- 专利权人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC.,SPARKS, Douglas Ray,NAJAFI, Nader
- 当前专利权人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC.,SPARKS, Douglas Ray,NAJAFI, Nader
- 当前专利权人地址： 391 Airport Industrial Drive Ypsilanti, Michigan 48198 US
- 优先权： US61/067,882 20080303
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B81B7/00 ; H01L21/302 ; H01L21/304 ; C23F1/00 ; G01D21/02
摘要：
A process for producing a micromachined tube microtube (50) suitable for microfluidic devices. The process entails isotropically etching a surface of a first substrate (18) to define therein a channel (20) having an arcuate cross-sectional profile, and forming a substrate structure (30) by bonding the first substrate (18) to a second substrate (22) so that the second substrate (22) overlies and encloses the channel (20) to define a passage (32) having a cross-sectional profile of which at least half is arcuate. The substrate structure (30) can optionally then be thinned to define a microtube (50) and walls thereof that surround the passage (32).
摘要（中）：
一种用于生产适用于微流体装置的微加工管微管（50）的方法。 该方法需要各向同性蚀刻第一衬底（18）的表面以在其中限定具有弓形横截面轮廓的通道（20），并且通过将第一衬底（18）结合到第二衬底（18）来形成衬底结构（30） （22），使得所述第二基板（22）覆盖并包围所述通道（20）以限定具有至少一半弧形的横截面轮廓的通道（32）。 衬底结构（30）可任选地被减薄以限定围绕通道（32）的微管（50）及其壁。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 |
| ------B81C1/00 | 在基片内或其上制造或处理的装置或系统 |