基本信息:
- 专利标题： 光学フィルター及びその製造方法並びに該光学フィルターを備えた光学機器
- 专利标题（英）：Optical filter, method for production of the same, and optical device equipped with the same
- 专利标题（中）：光学滤波器，其制造方法及其设备的光学装置
- 申请号：PCT/JP2008/069937 申请日：2008-10-31
- 公开(公告)号：WO2009084319A1 公开(公告)日：2009-07-09
- 发明人： 塩野 一郎 , 宋 亦周
- 申请人： 株式会社シンクロン , 塩野 一郎 , 宋 亦周
- 申请人地址： 〒2208680 神奈川県横浜市西区みなとみらい四丁目3番5号 Kanagawa JP
- 专利权人： 株式会社シンクロン,塩野 一郎,宋 亦周
- 当前专利权人： 株式会社シンクロン,塩野 一郎,宋 亦周
- 当前专利权人地址： 〒2208680 神奈川県横浜市西区みなとみらい四丁目３番５号 Kanagawa JP
- 代理机构： 秋山 敦 et al.
- 优先权： JP2007-337072 20071227
- 主分类号： G02B5/00
- IPC分类号： G02B5/00 ; B32B9/00 ; G02B5/28
摘要：
【課題】構造が簡単でかつ製造コストが安価であり、ロットごとの光学特性のばらつきが少ない光学フィルター及びその製造方法並びに光学機器を提供する。 【解決手段】光を吸収する多層膜Ｍが基材Ｓの表面に形成された光学フィルターＰであって、多層膜Ｍは、複数の膜が積層された誘電体膜Ｆと、誘電体膜Ｆを構成する複数の膜の間の少なくとも１か所に形成され光を吸収する性質を有する吸収膜Ａとを備えている。そして、誘電体膜Ｆは、金属元素Ｘの酸化物、窒化物若しくは酸窒化物で構成される第１の膜Ｆ１と、金属元素Ｙの酸化物、窒化物若しくは酸窒化物、又は金属元素Ｘと金属元素Ｙからなる合金の酸化物、窒化物若しくは酸窒化物で構成される第２の膜Ｆ２と、のうち２種類以上の膜が積層された構成を有している。また、吸収膜Ａは、金属元素Ｘ及び金属元素Ｙの一方又は両方を含有している。
摘要（中）：
本发明的目的是提供一种滤光器，其结构简单，可以低成本生产，其光学特性具有狭窄的批次间差异; 一种制造该滤光器的方法; 和光学装置。 公开了一种包括基材（S）和可吸收光并形成在基材（S）的表面上的多层膜（M））的滤光器（P），其中多层膜（ M）包括由彼此层压的两层或多层膜组成的介电膜（F）和形成在至少一个空间中的吸收膜（A），该吸收膜选自构成电介质膜的两个或更多个膜之间形成的空间 （F），可吸收光。 电介质膜（F）包括彼此层叠的至少两层膜，其中所述至少两层膜独立地选自包含金属元素（X）的氧化物，氮化物或氮氧化物的第一膜（F1），第二膜 包含金属元素（Y）的氧化物，氮化物或氧氮化物或金属元素（X）和金属元素（Y）的合金的氧化物，氮化物或氧氮化物的膜（F2）。 吸收膜（A）含有金属元素（X）和金属元素（Y）中的一种或两种。