基本信息:
- 专利标题: PIEZOELEKTRISCHER DRUCKSENSOR
- 专利标题(英):Piezoelectric pressure sensor
- 专利标题(中):压电式压力传感器
- 申请号:PCT/EP2008/057925 申请日:2008-06-23
- 公开(公告)号:WO2009015941A1 公开(公告)日:2009-02-05
- 发明人: FRIEDL, Alexander , ALPARSLAN, Turan , MICHELITSCH, Wolfgang
- 申请人: PIEZOCRYST ADVANCED SENSORICS GMBH , FRIEDL, Alexander , ALPARSLAN, Turan , MICHELITSCH, Wolfgang
- 申请人地址: Hans-List-Platz 1 A-8020 Graz AT
- 专利权人: PIEZOCRYST ADVANCED SENSORICS GMBH,FRIEDL, Alexander,ALPARSLAN, Turan,MICHELITSCH, Wolfgang
- 当前专利权人: PIEZOCRYST ADVANCED SENSORICS GMBH,FRIEDL, Alexander,ALPARSLAN, Turan,MICHELITSCH, Wolfgang
- 当前专利权人地址: Hans-List-Platz 1 A-8020 Graz AT
- 代理机构: BABELUK, Michael
- 优先权: ATA 20070727
- 主分类号: G01L23/10
- IPC分类号: G01L23/10
摘要:
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Drucksensor (1) mit in einem Gehäuse (2) eingesetzten piezoelektrischen Messelementen (3) und einem druckseitig am Gehäuse (2) angeordneten Membranelement (4), welches im Zentrum einer dünnen kreisringförmigen Membran (16) einen zentralen Membranstempel (15) aufweist, wobei die piezoelektrischen Messelemente (3) radial außerhalb eines im Wesentlichen entlang der Sensorlängsachse (1') eingesetzten Vorspannelementes (8) angeordnet sind, welches die Gehäusebasis (5) durchsetzt, zur Signalableitung dient und am membranseitigen Ende mit einem Druckstück verbunden ist. Erfindungsgemäß ist der zentrale Membranstempel (15) am Druckstück (17) befestigt und das Vorspannelement (8) unter Zwischenlage eines gasdichten Isolierelementes (18) an der Gehäusebasis (5) vorgespannt. Weiters weist das Druckstück (17) eine Dichtschulter (19) auf, die bei einem Bruch der Messelemente (3) an einem Dichtsitz (20) im Inneren des Gehäuses (2) anliegt und eine gasdichte Zone bildet.
摘要(中):
本发明涉及一种压电式压力传感器(1)具有在壳体(2)中使用压电测元件(3)和布置在压力侧壳体(2)的膜元件(4),其是在一个薄的环形膜的中心(16)(一个中央膜寺 15),其中,所述压电式测量元件(3)的径向外侧的沿传感器轴线布置基本上是(1“)中使用预应力穿过所述壳体基部(5)元件(8)用于为信号导出和膜侧的端部连接到推力件 是。 根据本发明,中央膜印模(15)上的压力件(17)安装并偏置,所述偏置构件(8)气密绝缘元件(18)的上壳体底部插置(5)。 此外,施加到测量元件的一小部分的压力件(17),以密封台肩(19)(3),以形成所述壳体(2)内的密封座(20),并形成一个气密的区域。
IPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01L | 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力 |
------G01L23/00 | 用于测量、指示或记录蒸汽、气体或液体压力的振荡等快速变化的设备或仪表;由工作流体的状态测定蒸汽机、内燃机或其他流体压力发动机的功或能量的指示器 |
--------G01L23/08 | .电操作的 |
----------G01L23/10 | ..采用压电型的压敏元件 |