发明申请
WO2009006120A8 MICROELECTROMECHANICAL DEVICE WITH OPTICAL FUNCTION SEPARATED FROM MECHANICAL AND ELECTRICAL FUNCTION
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： MICROELECTROMECHANICAL DEVICE WITH OPTICAL FUNCTION SEPARATED FROM MECHANICAL AND ELECTRICAL FUNCTION
- 专利标题（中）：具有从机械和电气功能分离的光学功能的微电子器件
- 申请号：PCT/US2008068063 申请日：2008-06-24
- 公开(公告)号：WO2009006120A8 公开(公告)日：2010-02-04
- 发明人： CHUI CLARENCE , CUMMINGS WILLIAM , GALLY BRIAN J , KOGUT LIOR , TUNG MING-HAU , TUNG YEH-JIUN , CHIANG CHIH-WEI , ENDISCH DENIS
- 申请人： QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES INC , CHUI CLARENCE , CUMMINGS WILLIAM , GALLY BRIAN J , KOGUT LIOR , TUNG MING-HAU , TUNG YEH-JIUN , CHIANG CHIH-WEI , ENDISCH DENIS
- 专利权人： QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES INC,CHUI CLARENCE,CUMMINGS WILLIAM,GALLY BRIAN J,KOGUT LIOR,TUNG MING-HAU,TUNG YEH-JIUN,CHIANG CHIH-WEI,ENDISCH DENIS
- 当前专利权人： QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES INC,CHUI CLARENCE,CUMMINGS WILLIAM,GALLY BRIAN J,KOGUT LIOR,TUNG MING-HAU,TUNG YEH-JIUN,CHIANG CHIH-WEI,ENDISCH DENIS
- 优先权： US77277707 2007-07-02
- 主分类号： G02B26/00
- IPC分类号： G02B26/00 ; B81B3/00 ; B81C1/00 ; B81C99/00
摘要：
A microelectromechanical (MEMS) device (1300) includes a substrate (20), a movable element (1340) over the substrate (20), and an actuation electrode (142) above the movable element (1340). The movable element (1340) includes a deformable layer (1302) and a reflective element (1314), The deformable layer (1302) is spaced from the reflective element (1314).
摘要（中）：
微机电（MEMS）装置（1300）包括衬底（20），在衬底（20）上方的可移动元件（1340）和可动元件（1340）上方的致动电极（142）。 可移动元件（1340）包括可变形层（1302）和反射元件（1314）。可变形层（1302）与反射元件（1314）间隔开。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G02 | 光学 |
| ----G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| ------G02B26/00 | 利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通、调制 |