发明申请
WO2007143144A9 DEVICE AND METHOD TO CREATE A LOW DIVERGENCE, HIGH POWER LASER BEAM FOR MATERIAL PROCESSING APPLICATIONS
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： DEVICE AND METHOD TO CREATE A LOW DIVERGENCE, HIGH POWER LASER BEAM FOR MATERIAL PROCESSING APPLICATIONS
- 专利标题（中）：用于材料加工应用的低功率激光束的低成本设备和方法
- 申请号：PCT/US2007013029 申请日：2007-05-31
- 公开(公告)号：WO2007143144A9 公开(公告)日：2008-02-07
- 发明人： HOFMANN THOMAS
- 申请人： CYMER INC , HOFMANN THOMAS
- 专利权人： CYMER INC,HOFMANN THOMAS
- 当前专利权人： CYMER INC,HOFMANN THOMAS
- 优先权： US44737906 2006-06-05; US80559607 2007-05-23
- 主分类号： B23K26/00
- IPC分类号： B23K26/00
摘要：
A thin beam laser crystallization apparatus for selectively melting a film deposited on a substrate is disclosed having a laser source producing a pulsed laser output beam, the source having an oscillator comprising a convex reflector and a piano output coupler; and an optical arrangement focusing the beam in a first axis and spatially expanding the beam in a second axis to produce a line beam for interaction with the film.
摘要（中）：
公开了一种用于选择性地熔化沉积在基板上的薄膜的薄射束激光结晶装置，其具有产生脉冲激光输出光束的激光源，该源具有包括凸反射器和钢琴输出耦合器的振荡器; 以及光学布置，将光束聚焦在第一轴线上，并且在第二轴线上空间地扩展光束以产生用于与胶片相互作用的线束。
公开/授权文献:
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B23 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工 |
| ----B23K | 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工 |
| ------B23K26/00 | 用激光束加工，例如焊接，切割，打孔 |