基本信息:
- 专利标题： STABILIZATION OF MEMS MIRRORS IN CLOSED LOOP OPERATION
- 专利标题（中）：封闭环路操作中MEMS微机的稳定性
- 申请号：PCT/US2005/023695 申请日：2005-06-29
- 公开(公告)号：WO2006005037A2 公开(公告)日：2006-01-12
- 发明人： TURNER, Arthur, Monroe , HEATON, Mark, Wesley
- 申请人： TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED , TURNER, Arthur, Monroe , HEATON, Mark, Wesley
- 申请人地址： P.O. Box 655474, M/S 3999, Dallas, TX 75265-5474 US
- 专利权人： TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED,TURNER, Arthur, Monroe,HEATON, Mark, Wesley
- 当前专利权人： TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED,TURNER, Arthur, Monroe,HEATON, Mark, Wesley
- 当前专利权人地址： P.O. Box 655474, M/S 3999, Dallas, TX 75265-5474 US
- 代理机构： FRANZ, Warren, L. et al.
- 优先权： US60/584,294 20040630; US11/136,348 20050524
- 主分类号： G02B26/08
- IPC分类号： G02B26/08 ; G02B7/182
摘要：
Apparatus and methods are provided for removing jitter and stabilizing the feedback system of a torsional hinged device. Light source from beam 16 is directed toward a reflective surface of a rotating mirror 10 onto a photosensitive medium 20. Sensors 22a, 22b provide movement sensing signals to monitor and control circuitry 26 which controls drive mechanism 12. Stabilization is accomplished by providing asymmetry in the oscillating device 10 or the drive torque 18 applied to the device, to introduce a slight lateral motion in addition to the rotational motion.
摘要（中）：
提供了用于消除抖动并稳定扭转铰链装置的反馈系统的装置和方法。 来自光束16的光源被引向旋转镜10的反射表面到光敏介质20上。传感器22a，22b提供移动感测信号，以监控和控制电路26，控制电路26控制驱动机构12.稳定是通过在 摆动装置10或施加到装置的驱动扭矩18，除了旋转运动之外引入轻微的横向运动。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G02 | 光学 |
| ----G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| ------G02B26/00 | 利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通、调制 |
| --------G02B26/08 | .控制光的方向 |