发明申请
WO2004042797A3 SACRIFICIAL COMPOSITIONS, METHODS OF USE THEREOF, AND METHODS OF DECOMPOSITION THEREOF
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： SACRIFICIAL COMPOSITIONS, METHODS OF USE THEREOF, AND METHODS OF DECOMPOSITION THEREOF
- 专利标题（中）：特殊组合物，其使用方法及其分解方法
- 申请号：PCT/US0334705 申请日：2003-10-31
- 公开(公告)号：WO2004042797A3 公开(公告)日：2005-07-07
- 发明人： KOHL PAUL A , ALLEN SUEANN BIDSTRUP , HENDERSON CLIFFORD LEE , JAYACHANDRAN JOSEPH PAUL , REED HOLLIE , WHITE CELESTA E
- 申请人： GEORGIA TECH RES INST
- 专利权人： GEORGIA TECH RES INST
- 当前专利权人： GEORGIA TECH RES INST
- 优先权： US42301302 2002-11-01; US69933003 2003-10-31
- 主分类号： B81B1/00
- IPC分类号： B81B1/00 ; B81C1/00 ; H01L21/768 ; C08J3/28 ; G03C1/76 ; G03C1/795 ; G03C5/00 ; G03C5/56
摘要：
Polymers, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof, are provided. One exemplary polymers, among others, includes, a composition having a sacrificial polymer and a pthotoacid generator.
摘要（中）：
提供聚合物，其使用方法及其分解方法。 一个示例性的聚合物，其中包括具有牺牲聚合物和光致酸产生剂的组合物。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81B | 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置 |
| ------B81B1/00 | 不具有活动或柔性元件的装置，例如微毛细管装置 |