基本信息:
- 专利标题： VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON MIKROLOCHSTRUKTUREN
- 专利标题（英）：Method for producing microhole structures
- 专利标题（中）：方法生产微型孔穴结构的
- 申请号：PCT/EP2003/004321 申请日：2003-04-25
- 公开(公告)号：WO2003091804A1 公开(公告)日：2003-11-06
- 发明人： GOMBERT, Andreas , BOERNER, Volkmar , ROBERT, Josef , GEHRKE, Ilka , BLÄSI, Benedikt , NIGGEMANN, Michael , SCHLEMMER, Christian
- 申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , GOMBERT, Andreas , BOERNER, Volkmar , ROBERT, Josef , GEHRKE, Ilka , BLÄSI, Benedikt , NIGGEMANN, Michael , SCHLEMMER, Christian
- 申请人地址： Leonrodstrasse 54, 80636 München DE
- 专利权人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.,GOMBERT, Andreas,BOERNER, Volkmar,ROBERT, Josef,GEHRKE, Ilka,BLÄSI, Benedikt,NIGGEMANN, Michael,SCHLEMMER, Christian
- 当前专利权人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.,GOMBERT, Andreas,BOERNER, Volkmar,ROBERT, Josef,GEHRKE, Ilka,BLÄSI, Benedikt,NIGGEMANN, Michael,SCHLEMMER, Christian
- 当前专利权人地址： Leonrodstrasse 54, 80636 München DE
- 代理机构： PFENNING MEINIG & PARTNER GBR
- 优先权： DE102 20020426
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
Bei einem neuen Verfahren zur Herstellung von Mikrolochstrukturen wird das hierfür verwendete Material durch Schrägbeschichtung auf eine mit einer Reliefstruktur versehene Oberfläche eines Substrats aufgebracht. Für die Erzielung des gewunschten Lochmuster weist die Reliefstruktur ein zusammenhängendes Netz aus ersten Oberflächenteilen, deren lokale Flächennormalenvektoren mit dem Einheitsvektor der Oberfläche einen kleinen Winkel einschliessen, and zwischen den ersten Oberflächenteilen zweite Oberflächenteile, deren lokale Flächennormalenvektoren mit dem Richtungsvektor der Beschichtung einen kleinen Winkel einschliessen, auf.
摘要（中）：
在用于微孔结构的制备的新的进程，使用其材料是通过在倾斜涂布设置有基板的凹凸结构的表面施加的。 为了实现孔的希望的图案，该浮雕结构的第一表面部分的互连网络，局部表面法线向量包括所述表面的单位向量的小角度，和第二表面部分，其中所述的局部表面法线向量包括与涂层一小角度的方向矢量的第一表面部分之间， 上。