基本信息:
- 专利标题： Controlled deposition and growth of polycrystalline films in a vacuum
- 专利标题（中）：在真空中控制多晶薄膜的沉积和生长
- 申请号：US51128565 申请日：1965-11-16
- 公开(公告)号：US3290567A 公开(公告)日：1966-12-06
- 发明人： GOWEN HAMMOND E T
- 申请人： TECHNICAL IND INC
- 专利权人： Technical Ind Inc
- 当前专利权人： Technical Ind Inc
- 优先权： US51128565 1965-11-16; US5814460 1960-09-23
- 主分类号： C23C14/32
- IPC分类号： C23C14/32 ; H01C10/00 ; H01C17/10 ; H01C17/12