基本信息:
- 专利标题： STATISTICAL HIERARCHICAL RECONSTRUCTION FROM METROLOGY DATA
- 申请号：US15365576 申请日：2016-11-30
- 公开(公告)号：US20170160074A1 公开(公告)日：2017-06-08
- 发明人： Seyed Iman MOSSAVAT , Remco DIRKS , Hugo Augustinus Joseph CRAMER
- 申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
- 申请人地址： NL Veldhoven
- 专利权人： ASML NETHERLANDS B.V.
- 当前专利权人： ASML NETHERLANDS B.V.
- 当前专利权人地址： NL Veldhoven
- 优先权： EP15198069.5 20151204
- 主分类号： G01B11/02
- IPC分类号： G01B11/02
摘要：
A method including obtaining measurement results of a device manufacturing process or a product thereof, obtaining sets of one or more values of one or more parameters of a distribution by fitting the distribution against the measurement results, respectively, and obtaining, using a computer, a set of one or more values of one or more hyperparameters of a hyperdistribution by fitting the hyperdistribution against the sets of values of the parameters.
公开/授权文献:
- US10627213B2 Statistical hierarchical reconstruction from metrology data 公开/授权日：2020-04-21
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/02 | .用于计量长度、宽度或厚度 |