基本信息:
- 专利标题： PHOTORESIST STRIPPING USING INTELLIGENT LIQUIDS
- 专利标题（中）：使用智能液体的光电传感器
- 申请号：US15028452 申请日：2014-10-13
- 公开(公告)号：US20160230130A1 公开(公告)日：2016-08-11
- 发明人： Dirk Schumann
- 申请人： BUBBLES & BEYOND GMBH
- 优先权： DE102013016870.8 20131011
- 国际申请： PCT/EP2014/071915 WO 20141013
- 主分类号： C11D11/00
- IPC分类号： C11D11/00 ; C11D1/14 ; C11D1/83 ; H01L21/321 ; C11D3/20 ; H01L21/027 ; H01L21/3105 ; C11D17/00 ; C11D1/75
摘要：
The invention present describes novel cleaning agents based on a multiphase system, the use thereof for removing photoresist coatings from surfaces, and a method for removing photoresist coatings from surfaces. The multiphase system according to the invention is used in particular for removing coatings, photoresist coatings, polymer layers, dirt layers, insulation layers, and metal layers from surfaces.
摘要（中）：
本发明描述了基于多相系统的新型清洁剂，其用于从表面除去光致抗蚀剂涂层的用途以及从表面除去光致抗蚀剂涂层的方法。 根据本发明的多相系统特别用于从表面去除涂层，光致抗蚀剂涂层，聚合物层，污垢层，绝缘层和金属层。
公开/授权文献:
- US10053655B2 Photoresist stripping using intelligent liquids 公开/授权日：2018-08-21
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 |
| ----C11D | 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 |
| ------C11D11/00 | 制备含洗涤剂混合物之组合物的特殊方法 |