发明申请
US20160083676A1 METHOD AND APPARATUS FOR HIGH EFFICIENCY POST CMP CLEAN USING ENGINEERED VISCOUS FLUID
审中-公开
基本信息:
- 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR HIGH EFFICIENCY POST CMP CLEAN USING ENGINEERED VISCOUS FLUID
- 专利标题（中）：使用工程粘度流体高效CMP后清洗的方法和装置
- 申请号：US14840146 申请日：2015-08-31
- 公开(公告)号：US20160083676A1 公开(公告)日：2016-03-24
- 发明人： Ekaterina MIKHAYLICHENKO , Brian J. BROWN , Fred C. REDEKER
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 主分类号： C11D17/00
- IPC分类号： C11D17/00 ; B08B1/00 ; B08B3/12 ; C11D3/04 ; C11D1/14 ; C11D3/20 ; C11D3/37 ; B08B3/04 ; B08B3/02
摘要：
Embodiments of the present apparatus and methods for post CMP clean. More particularly, embodiments provide apparatus and methods for removing nano sized particles. One embodiment provides a method for cleaning a substrate. The method includes exposing the substrate to a viscoelastic fluid to remove small particles from the substrate. The viscoelastic fluid comprising a viscosity adjustor and an aqueous base.
摘要（中）：
本发明的CMP清洗装置和方法的实施例。 更具体地，实施方案提供了用于去除纳米尺寸颗粒的装置和方法。 一个实施例提供了一种清洁衬底的方法。 该方法包括将基底暴露于粘弹性流体以从基底去除小颗粒。 该粘弹性流体包括粘度调节剂和碱性水溶液。
IPC结构图谱:
| C | 化学；冶金 |
| --C11 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 |
| ----C11D | 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 |
| ------C11D17/00 | 由其形状或物理性能为特征的洗涤剂材料或皂剂 |