发明申请
US20150008321A1 TRANSMISSION ELECTRON DIFFRACTION MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING TRANSMISSION ELECTRON DIFFRACTION PATTERN
有权
基本信息:
- 专利标题： TRANSMISSION ELECTRON DIFFRACTION MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING TRANSMISSION ELECTRON DIFFRACTION PATTERN
- 专利标题（中）：传输电子衍射测量装置和测量传输电子衍射图案的方法
- 申请号：US14305173 申请日：2014-06-16
- 公开(公告)号：US20150008321A1 公开(公告)日：2015-01-08
- 发明人： Daisuke OHGARANE , Koji DAIRIKI , Masahiro TAKAHASHI , Shunichi ITO , Erika TAKAHASHI
- 申请人： Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd.
- 优先权： JP2013-141217 20130705
- 主分类号： G01N23/205
- IPC分类号： G01N23/205 ; H01J37/06 ; G01N23/20
摘要：
Provided is a transmission electron diffraction measurement apparatus including an electron gun; a first optical system under the electron gun; a sample chamber under the first optical system; a second optical system under the sample chamber; an observation chamber under the second optical system; a region that emits light by receiving energy from an electron in the observation chamber; and a camera facing the region.
摘要（中）：
提供一种包括电子枪的透射电子衍射测量装置; 电子枪下的第一光学系统; 第一光学系统下的样品室; 样品室下方的第二光学系统; 第二光学系统下的观察室; 通过从观察室中的电子接收能量而发光的区域; 以及面向该地区的相机。
公开/授权文献:
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N23/00 | 利用未包括在G01N21/00或G01N22/00组内的波或粒子辐射来测试或分析材料，例如X射线、中子 |
| --------G01N23/02 | .通过使辐射透过材料 |
| ----------G01N23/205 | ..利用衍射相机 |